סובסערפאַסע שעדיקן פון אָפּטיש עלעמענטן

רענדערינג פון ונטערערד שעדיקן

2 מעטאָד פון מעזשערמאַנט פון סאַבסערפאַסע שעדיקן

זינט סאַב-ייבערפלאַך שעדיקן קענען ניט זיין איגנאָרירט, עס מוזן זיין יפעקטיוולי קאַנטראָולד דורך אָפּטיש קאָמפּאָנענט מאַניאַפאַקטשערערז.אין סדר צו יפעקטיוולי קאָנטראָלירן עס, עס איז נייטיק צו אַקיעראַטלי ידענטיפיצירן און דעטעקט די גרייס פון די סאַבסערפאַסע שעדיקן אויף די ייבערפלאַך פון די קאָמפּאָנענט, זינט די פרי טייל פון די לעצטע יאָרהונדערט, מענטשן האָבן דעוועלאָפּעד אַ פאַרשיידנקייַט פון מעטהאָדס צו מעסטן און אָפּשאַצן די גרייס. פון די ונטערערד שעדיקן פון די קאָמפּאָנענט, לויט די מאָדע פון ​​די גראַד פון השפּעה אויף די אָפּטיש קאָמפּאָנענט, עס קענען זיין צעטיילט אין צוויי קאַטעגאָריעס: דעסטרוקטיווע מעזשערמאַנט און ניט-דעסטרוקטיווע מעזשערמאַנט (ניט-דעסטרוקטיווע טעסטינג).

דעסטרוקטיווע מעזשערמאַנט אופֿן, ווי דער נאָמען סאַגדזשעס, איז די נויט צו טוישן די ייבערפלאַך סטרוקטור פון די אָפּטיש עלעמענט, אַזוי אַז די סאַב-ייבערפלאַך שעדיקן וואָס איז נישט גרינג צו אָבסערווירן קענען זיין גילוי, און דערנאָך נוצן אַ מיקראָסקאָפּ און אנדערע ינסטראַמאַנץ צו אָבסערווירן די. מעאַסורעמענט אופֿן, דעם אופֿן איז יוזשאַוואַלי צייט-קאַנסומינג, אָבער די מעזשערמאַנט רעזולטאַטן זענען פאַרלאָזלעך און פּינטלעך.ניט-דעסטרוקטיווע מעזשערמאַנט מעטהאָדס, וואָס טאָן ניט פאַרשאַפן נאָך שעדיקן צו די קאָמפּאָנענט ייבערפלאַך, נוצן ליכט, געזונט אָדער אנדערע ילעקטראָומאַגנעטיק כוואליעס צו דעטעקט די ונטערערד שעדיקן שיכטע, און נוצן די סומע פון ​​פאַרמאָג ענדערונגען אין די שיכטע צו אַססעסס די גרייס פון די ססד, אַזאַ מעטהאָדס זענען לעפיערעך באַקוועם און שנעל, אָבער יוזשאַוואַלי אַ קוואַליטאַטיווע אָבסערוואַציע.לויט דעם קלאַסאַפאַקיישאַן, די קראַנט דיטעקשאַן מעטהאָדס פֿאַר סאַב-ייבערפלאַך שעדיקן זענען געוויזן אין די פיגור אונטן:

קלאַסאַפאַקיישאַן און קיצער פון סאַבסערפאַסע שעדיקן דיטעקשאַן מעטהאָדס

א קורץ באַשרייַבונג פון די מעזשערמאַנט מעטהאָדס גייט:

א דעסטרוקטיווע מעטהאָדס

אַ) פּאַלישינג אופֿן

איידער די אויסזען פון מאַגנעטאָרהעאָלאָגיקאַל פּאַלישינג, אָפּטיש טוערס יוזשאַוואַלי געוויינט טייפּער פּאַלישינג צו פונאַנדערקלייַבן די סאַב-ייבערפלאַך שעדיקן פון אָפּטיש קאַמפּאָונאַנץ, דאָס איז, קאַטינג די אָפּטיש ייבערפלאַך צוזאמען אַ אַבליק ווינקל צו פאָרעם אַ אַבליק ינער ייבערפלאַך, און דעמאָלט פּאַלישינג די אַבליק ייבערפלאַך.עס איז בכלל געגלויבט אַז פּאַלישינג וועט נישט פאַרשטאַרקן די אָריגינעל סאַב-ייבערפלאַך שעדיקן.די קראַקס פון די SSD שיכטע וועט זיין מער קלאָר ווי דער טאָג גילוי דורך די טבילה קעראָוזשאַן מיט כעמישער רייידזשאַנץ.די טיפקייַט, לענג און אנדערע אינפֿאָרמאַציע פון ​​די סאַב-ייבערפלאַך שעדיקן שיכטע קענען זיין געמאסטן דורך אָפּטיש אָבסערוואַציע פון ​​די גענייגט ייבערפלאַך נאָך טבילה.שפּעטער, סייאַנטיס ינווענטיד די באַלל דימפּלינג אופֿן (באַלל דימפּלינג), וואָס איז צו נוצן אַ ספעריש פּאַלישינג געצייַג צו פויליש די ייבערפלאַך נאָך גרינדינג, פארווארפן אַ גרוב, די טיפקייַט פון די גרוב דאַרף זיין ווי טיף ווי מעגלעך, אַזוי די אַנאַליסיס פון די זייַט פון די גרוב קענען באַקומען די סאַבסערפאַסע שעדיקן אינפֿאָרמאַציע פון ​​דער אָריגינעל ייבערפלאַך.

פּראָסט מעטהאָדס פֿאַר דיטעקטינג סאַבסערפאַסע שעדיקן פון אָפּטיש עלעמענטן

מאַגנעטאָרהעאָלאָגיקאַל פּאַלישינג (MRF) איז אַ טעכניק וואָס ניצט אַ מאַגנעטיק פליסיק פּאַס צו פויליש אָפּטיש קאַמפּאָונאַנץ, וואָס איז אַנדערש פון טראדיציאנעלן אַספאָלט / פּאַליוראַטיין פּאַלישינג.אין די טראדיציאנעלן פּאַלישינג אופֿן, די פּאַלישינג געצייַג יוזשאַוואַלי יגזערץ אַ גרויס נאָרמאַל קראַפט אויף די אָפּטיש ייבערפלאַך, בשעת מר פּאַלישינג רימוווז די אָפּטיש ייבערפלאַך אין די טאַנגענטיאַל ריכטונג, אַזוי מר פּאַלישינג טוט נישט טוישן די אָריגינעל סאַב-ייבערפלאַך שעדיקן קעראַקטעריסטיקס פון די אָפּטיש ייבערפלאַך.דעריבער, מר פּאַלישינג קענען זיין געוויינט צו פּויליש אַ נאָרע אויף די אָפּטיש ייבערפלאַך.דערנאָך די פּאַלישינג געגנט איז אַנאַלייזד צו אָפּשאַצן די גרייס פון די סאַבסערפאַסע שעדיקן פון דער אָריגינעל אָפּטיש ייבערפלאַך.

אַ) בלאַק גלוינג אופֿן

דעם אופֿן איז אויך געניצט צו פּרובירן סאַב-ייבערפלאַך שעדיקן.אין פאַקט, אויסקלייַבן אַ קוואַדראַט מוסטער מיט דער זעלביקער פאָרעם און מאַטעריאַל, פּויליש די צוויי סערפאַסיז פון די מוסטער, און נוצן קלעפּיק צו קליי די צוויי פּאַלישט סערפאַסיז פון די מוסטער צוזאַמען, און דעמאָלט מאָל די זייטן פון די צוויי סאַמפּאַלז צוזאַמען. צייַט.נאָך גרינדינג, כעמישער רייידזשאַנץ זענען געניצט צו באַזונדער די צוויי קוואַדראַט סאַמפּאַלז.די גרייס פון די סאַבסערפאַסע שעדיקן געפֿירט דורך די גרינדינג בינע קענען זיין עוואַלואַטעד דורך אַבזערווינג די אפגעשיידט פּאַלישט ייבערפלאַך מיט אַ מיקראָסקאָפּ.דער פּראָצעס סכעמאַטיש דיאַגראַמע פון ​​דעם אופֿן איז ווי גייט:

סכעמאַטיש דיאַגראַמע פון ​​דיטעקשאַן פון סאַבסערפאַסע שעדיקן דורך בלאָק קלעפּיק אופֿן

דעם אופֿן האט זיכער לימיטיישאַנז.ווייַל עס איז אַ קלעפּיק ייבערפלאַך, די סיטואַציע פון ​​​​די קלעפּיק ייבערפלאַך קען נישט גאָר פאַרטראַכטנ זיך די פאַקטיש סאַבסערפאַסע שעדיקן ין דער מאַטעריאַל נאָך גרינדינג, אַזוי די מעזשערמאַנט רעזולטאַטן קענען בלויז פאַרטראַכטנ די SSD סיטואַציע אין אַ זיכער מאָס.

אַ) כעמישער עטשינג

דער אופֿן ניצט פּאַסיק כעמישער אגענטן צו יראָוד די דאַמידזשד שיכטע פון ​​די אָפּטיש ייבערפלאַך.נאָך די יראָוזשאַן פּראָצעס איז געענדיקט, די סאַבסערפאַסע שעדיקן איז עוואַלואַטעד דורך די ייבערפלאַך פאָרעם און ראַפנאַס פון די קאָמפּאָנענט ייבערפלאַך און די אינדעקס ענדערונג פון די יראָוזשאַן קורס.קאַמאַנלי געניצט כעמישער רייידזשאַנץ זענען הידראָפלואָריק זויער (הף), אַמאָוניאַם הידראָגען פלאָרייד (נה4הף) און אנדערע קעראָוסיוו אגענטן.

ב) קרייַז אָפּטיילונג אופֿן

דער מוסטער איז דיססעקטעד און אַ סקאַנינג עלעקטראָן מיקראָסקאָפּ איז געניצט צו גלייך אָבסערווירן די גרייס פון די סאַבסערפאַסע שעדיקן.

ג) דיע ימפּרעגניישאַן אופֿן

ווייַל די ייבערפלאַך שיכטע פון ​​די ערד אָפּטיש עלעמענט כּולל אַ גרויס נומער פון מיקראָקראַקקס, דיעס וואָס קענען פאָרעם אַ קאָליר קאַנטראַסט מיט די אָפּטיש סאַבסטרייט אָדער קאַנטראַסט מיט די סאַבסטרייט קענען זיין געדריקט אין דעם מאַטעריאַל.אויב די סאַבסטרייט באשטייט פון אַ טונקל מאַטעריאַל, פלורעסאַנט דיעס קענען זיין געוויינט.סאַב-ייבערפלאַך שעדיקן קענען זיין לייכט אָפּגעשטעלט אָפּטיש אָדער עלעקטראָניש.ווייַל די קראַקס זענען יוזשאַוואַלי זייער פייַן און ין דער מאַטעריאַל, ווען די דורכדרונג טיף פון די פאַרב דורכדרונג איז נישט גענוג, עס קען נישט פאָרשטעלן די אמת טיפקייַט פון די מיקראָקראַק.אין סדר צו באַקומען די פּלאַצן טיפקייַט ווי אַקיעראַטלי ווי מעגלעך, אַ נומער פון מעטהאָדס זענען פארגעלייגט פֿאַר ימפּרעגנייטינג דיעס: מעטשאַניקאַל פּרעפּרעסינג און קאַלט יסאָסטאַטיק דרינגלעך, און די נוצן פון עלעקטראָן זאָנד מיקראָאַנאַליסיס (EPMA) צו דעטעקט טראַסעס פון פאַרב אין זייער נידעריק קאַנסאַנטריישאַנז.

ב, ניט-דעסטרוקטיווע מעטהאָדס

אַ) אָפּשאַצונג אופֿן

די אָפּשאַצונג אופֿן דער הויפּט עסטאַמאַץ די טיפקייַט פון סאַב-ייבערפלאַך שעדיקן לויט די גרייס פון די פּאַרטאַקאַל גרייס פון די אַברייסיוו מאַטעריאַל און די גרייס פון די ייבערפלאַך ראַפנאַס פון די קאָמפּאָנענט.רעסעאַרטשערס נוצן אַ גרויס נומער פון טעסץ צו פאַרלייגן די קאָראַספּאַנדינג שייכות צווישן די פּאַרטאַקאַל גרייס פון די אַברייסיוו מאַטעריאַל און די טיפקייַט פון די סאַב-ייבערפלאַך שעדיקן, ווי געזונט ווי די וואָס ריכטן טיש צווישן די גרייס פון די ייבערפלאַך ראַפנאַס פון די קאָמפּאָנענט און די סאַב-ייבערפלאַך. ייבערפלאַך שעדיקן.די ונטערערד שעדיקן פון די קראַנט קאָמפּאָנענט ייבערפלאַך קענען זיין עסטימאַטעד דורך ניצן זייער קאָרעספּאָנדענץ.

ב) אָפּטיש קאָוכיראַנס טאָמאָגראַפי (אָקט)

אָפּטיש קאָוכיראַנס טאָמאָגראַפי, דער גרונט פּרינציפּ פון וואָס איז Michelson ינטערפיראַנס, יוואַליוייץ די געמאסטן אינפֿאָרמאַציע דורך די ינטערפיראַנס סיגנאַלז פון צוויי בימז פון ליכט.דעם טעכניק איז קאַמאַנלי געניצט צו אָבסערווירן בייאַלאַדזשיקאַל געוועבן און געבן אַ קרייַז-סעקשאַנאַל טאָמאָגראַפי פון די ונטערערד סטרוקטור פון די געוועב.ווען אָקט טעכניק איז געניצט צו אָבסערווירן די סאַבסערפאַסע שעדיקן פון אָפּטיש ייבערפלאַך, די רעפראַקטיווע אינדעקס פּאַראַמעטער פון די געמאסטן מוסטער מוזן זיין קאַנסידערד צו באַקומען די פאַקטיש פּלאַצן טיפקייַט.דער אופֿן קענען ריפּאָרטאַדלי דעטעקט חסרונות אין אַ טיפעניש פון 500μם מיט אַ ווערטיקאַל האַכלאָטע פון ​​בעסער ווי 20μם.אָבער, ווען עס איז געניצט פֿאַר ססד דיטעקשאַן פון אָפּטיש מאַטעריאַלס, די ליכט שפיגלט פֿון די ססד שיכטע איז לעפיערעך שוואַך, אַזוי עס איז שווער צו פאָרעם ינטערפיראַנס.אין אַדישאַן, ייבערפלאַך צעוואָרפן וועט אויך ווירקן די מעזשערמאַנט רעזולטאַטן, און די מעזשערמאַנט אַקיעראַסי דאַרף זיין ימפּרוווד.

ג) לייזער צעוואָרפן אופֿן

לאַזער יריידייישאַן אויף די פאָטאָמעטריק ייבערפלאַך, ניצן די צעוואָרפן פּראָפּערטיעס פון די לאַזער צו אַססעסס די גרייס פון די סאַבסערפאַסע שעדיקן, איז אויך יקסטענסיוולי געלערנט.פּראָסט אָנעס אַרייַננעמען גאַנץ ינערלעך רעפעקשאַן מיקראָסקאָפּי (TIRM), קאָנפאָקאַל לאַזער סקאַנינג מיקראָסקאָפּי (CLSM), און ינטערסעקטינג פּאָולעראַזיישאַן קאָנפאָקאַל מיקראָסקאָפּי (CPCM).קרייַז-פּאָולעראַזיישאַן קאָנפאָקאַל מיקראָסקאָפּי, עטק.

ד) סקאַנינג אַקוסטיש מיקראָסקאָפּ

סקאַנינג אַקוסטיש מיקראָסקאָפּי (SAM), ווי אַן אַלטראַסאַניק דיטעקשאַן אופֿן, איז אַ ניט-דעסטרוקטיווע טעסטינג אופֿן וואָס איז וויידלי געניצט צו דעטעקט ינערלעך חסרונות.דעם אופֿן איז יוזשאַוואַלי געניצט צו מעסטן סאַמפּאַלז מיט גלאַט סערפאַסיז.ווען די ייבערפלאַך פון די מוסטער איז זייער פּראָסט, די מעזשערמאַנט אַקיעראַסי וועט זיין רידוסט רעכט צו דער השפּעה פון די ייבערפלאַך צעוואָרפן כוואליעס.

3 סאַבסערפאַסע שעדיקן קאָנטראָל מעטהאָדס

עס איז אונדזער לעצט ציל צו יפעקטיוולי קאָנטראָלירן די ונטערערד שעדיקן פון אָפּטיש קאַמפּאָונאַנץ און באַקומען קאַמפּאָונאַנץ וואָס גאָר באַזייַטיקן SSDS.אונטער נאָרמאַל צושטאנדן, די טיפקייַט פון סאַב-ייבערפלאַך שעדיקן איז פּראַפּאָרשאַנאַל צו די גרייס פון די אַברייסיוו פּאַרטאַקאַל גרייס, דער קלענערער די פּאַרטאַקאַל גרייס פון די אַברייסיוו, די פּליטקע די סאַב-ייבערפלאַך שעדיקן, דעריבער, דורך רידוסינג די גראַניאַלעראַטי פון גרינדינג, און גאָר גרינדינג, איר קענען יפעקטיוולי פֿאַרבעסערן די מדרגה פון סאַב-ייבערפלאַך שעדיקן.די פּראַסעסינג דיאַגראַמע פון ​​סאַב-ייבערפלאַך שעדיקן קאָנטראָל אין סטאַגעס איז געוויזן אין די פיגור אונטן:

סובסערפאַסע שעדיקן איז קאַנטראָולד אין סטאַגעס
דער ערשטער בינע פון ​​גרינדינג וועט גאָר באַזייַטיקן די סאַבסערפאַסע שעדיקן אויף די ליידיק ייבערפלאַך און פּראָדוצירן אַ נייַ סאַבסערפאַסע אין דעם בינע, און אין די רגע בינע פון ​​גרינדינג, עס איז נייטיק צו באַזייַטיקן די ססד דזשענערייטאַד אין דער ערשטער בינע און פּראָדוצירן נייַ סאַבסערפאַסע שעדיקן ווידער, פּראַסעסינג אין דרייַ, און קאָנטראָלירן די פּאַרטאַקאַל גרייס און ריינקייַט פון די אַברייסיוו, און לעסאָף באַקומען די דערוואַרט אָפּטיש ייבערפלאַך.דאָס איז אויך די פּראַסעסינג סטראַטעגיע אַז אָפּטיש מאַנופאַקטורינג האט נאכגעגאנגען פֿאַר הונדערטער פון יאָרן.

אין דערצו, נאָך די גרינדינג פּראָצעס, פּיקלינג די ייבערפלאַך פון די קאָמפּאָנענט קענען יפעקטיוולי באַזייַטיקן די סאַב-ייבערפלאַך שעדיקן, דערמיט ימפּרוווינג די ייבערפלאַך קוואַליטעט און ימפּרוווינג די פּראַסעסינג עפעקטיווקייַט.

קאָנטאַקט:
Email:jasmine@pliroptics.com ;
טעלעפאָן / ווהאַצאַפּפּ / וועטשאַט: 86 19013265659
וועב:www.pliroptics.com

לייג: בנין 1, נומ 1558, סייכל וועג, קינגבאַדזשיאַנג, טשענגדו, סיטשואַן, טשיינאַ