1 Kev ua haujlwm tsis zoo tom qab txheej txheej
Nyob rau hauv tsab xov xwm dhau los, peb tau qhia txog cov dej num, cov hauv paus ntsiab lus, tsim software thiab cov txheej txheem txheej txheem ntawm optical nyias zaj duab xis.Hauv tsab xov xwm no, peb qhia txog qhov kev sim ntawm cov txheej txheem tom qab txheej txheej.Qhov kev ua tau zoo ntawm qhov chaw ntawm cov khoom tom qab txheej muaj xws li Transmittance (Transmittance), Reflectance (R), Absorptance (A), thiab lwm yam. Tsis tas li ntawd, qhov nqus (Transmittance) thiab lwm yam.Cov yam ntxwv tawg ntawm S (Scatter) ntawm zaj duab xis nto kuj yuav tsum tau kuaj thiab tshuaj xyuas.
Lub transmittance T yog qhov piv ntawm lub teeb siv zog dhau los ntawm zaj duab xis mus rau qhov teeb meem lub teeb lub zog.Lub reflectance R yog qhov sib piv ntawm lub zog siv zog cuam tshuam los ntawm qhov chaw ntawm txheej rau qhov xwm txheej zog.Absorption A yog qhov piv ntawm lub teeb lub zog absorbed los ntawm cov zaj duab xis txheej rau qhov teeb meem lub teeb lub zog.Rau peb qhov kev txwv no, muaj kev sib raug zoo hauv qab no:
T + R + A = 1
Ntawd yog, qhov sib npaug ntawm kev xa tawm, kev cuam tshuam thiab kev nqus ntawm cov zaj duab xis txheej yog qhov tsis tu ncua 1. Qhov no txhais tau hais tias tom qab lub teeb ci dhau los ntawm daim nyias nyias, ib feem ntawm nws dhau mus, ib feem ntawm nws yog reflected tam sim ntawd, thiab tus so. yog absorbed los ntawm daim nyias nyias.
Nyob ntawmoptical tivthaivkev kos duab, kev xa tawm lossis kev cuam tshuam ntawm zaj duab xis saum npoo yog feem ntau yuav tsum tau, thiab qhov spectral ntau thiab qhov xwm txheej ntawm lub kaum sab xis raws li daim ntawv thov lub xeev yuav tsum tau txhais kom meej.Yog hais tias polarization tseem yuav tsum tau, qhov ntau ntawm polarization xeev yuav tsum tau txhais kom meej.Ua piv txwv, cov txheej txheem txheej hauv daim duab hauv qab no yog tias ntawm 770nm, qhov kev xav tau yuav tsum tsis pub tsawg dua 88% ntawm 45 degree qhov xwm txheej, thiab ntawm 550nm, kev xa tawm yuav tsum tsis pub tsawg dua 70% ntawm 45 degree tshwm sim.
Ntxiv rau cov khoom siv kho qhov muag saum toj no, cov khoom siv kho qhov muag thiab tshuaj lom neeg ntawm cov txheej txheem kho qhov muag kuj yuav tsum tau txiav txim siab, suav nrog kev hnav tsis kam, ruaj khov, solubility ntawm txheej zaj duab xis.Tsis tas li ntawd, qhov zoo ntawm qhov chaw kho qhov muag tom qab txheej kuj yuav tsum tau txiav txim siab, suav nrog cov kev cai rau pitting, khawb, av, stains, thiab lwm yam.
2 Txoj cai ntawm spectrophotometer
Hauv daim ntawv no, peb tsom mus rau cov khoom siv kho qhov muag ntawm cov qauv kev sim zaj duab xis los qhia, hauv kev xyaum, lub ntsiab Spectrophotometer (Spectrophotometer) thiab Ellipsometer (Ellipsometer) los ntsuas cov yeeb yaj kiab tsis, spectrophotometer tuaj yeem kuaj qhov xa tawm, cuam tshuam thiab nqus cov yam ntxwv ntawm optical. cov khoom.Lub ellipsometer tuaj yeem ntsuas qhov tuab thiab polarization yam ntxwv ntawm txheej zaj duab xis, thiab lub hauv paus ntsiab lus ntawm ob qho tib si zoo sib xws.
Cov qauv ntawm cov cuab yeej no tuaj yeem muab faib ua ob ntu ntawm cov kab hluav taws xob tsim hluav taws xob thiab cov kab hluav taws xob tau txais channel, thaum qhov kev xa tawm ntawm cov khoom yuav tsum tau sim, cov khoom siv tau muab tso rau hauv nruab nrab ntawm ob txoj kab, kom cov nqaj dhau los ntawm cov qauv, thaum qhov kev xav tau ntawm cov khoom yuav tsum tau sim, cov khoom siv tau muab tso rau ntawm tib sab ntawm ob txoj kab, kom cov nqaj tau cuam tshuam los ntawm cov qauv.Raws li ib qho piv txwv, lub hauv paus ntsiab lus ntawm spectrophotometer los ntsuas qhov kis ntawm tus qauv yog qhia hauv daim duab hauv qab no:
Nyob rau hauv daim duab saum toj no, sab laug kawg yog lub beam tiam channel, siv ib tug dav spectrum lub teeb qhov chaw los emit lub teeb, thiab ces los ntawm kev sib cais ntawm cov grating thiab xaiv cov slit, tso tawm ib tug tshwj xeeb wavelength ntawm lub teeb, lub beam hla mus lub collimator 1, dhau los ua ib txoj kab sib txuas, thiab tom qab ntawd dhau los ntawm cov polarizer uas tuaj yeem tig lub kaum sab xis, dhau los ua lub teeb pom kev zoo, thiab lub teeb polarized muab faib ua 2 kab teeb los ntawm spectroscope tom qab lub collimator 2 sib sau ua ke.Lub teeb beam yog reflected rau hauv lub reference detector, qhov twg lub teeb lub teeb yog siv raws li ib tug siv los kho lub zog drift vim lub fluctuations ntawm lub teeb qhov chaw, thiab lwm lub teeb beam hla tus qauv, yog reshaped los ntawm collimator 3 thiab collimator. 4, thiab nkag mus rau lub detector nyob rau sab xis kawg ntawm qhov kev xeem.Hauv qhov kev sim tiag tiag, ob qhov txiaj ntsig ntawm lub zog tau txais los ntawm kev muab tso rau hauv thiab tshem tawm cov qauv kuaj, thiab kev xa tawm ntawm cov qauv tuaj yeem tau los ntawm kev sib piv lub zog.
Lub hauv paus ntsiab lus ntawm lub ellipsometer yog zoo ib yam li lub hauv paus ntsiab lus ntawm cov saum toj no spectrophotometer, tshwj tsis yog hais tias ib tug rotating 1/4 yoj phaj yog ntxiv raws li ib tug them nyiaj nyob rau hauv lub beam xa channel thiab txais channel, thiab ib tug polarizer kuj ntxiv nyob rau hauv lub txais channel. , kom cov yam ntxwv polarization ntawm cov qauv tuaj yeem txheeb xyuas tau yooj yim dua.Qee qhov xwm txheej, lub ellipsometer tseem yuav ncaj qha siv lub teeb pom kev dav dav, thiab txais yuav ib qho kev sib cais thiab cais cov spectrometer ntawm qhov kawg tau txais, ua ke nrog cov kab hluav taws xob array, kom ua tiav qhov kev xeem ntawm cov khoom.
3. Kev xeem ntawm kev xa tawm
Nyob rau hauv lub transmittance xeem, nyob rau hauv thiaj li yuav zam lub reflection ntawm lub ntes tau txais lub teeb beam, lub integrating sphere yog feem ntau siv raws li lub receiver, lub hauv paus ntsiab lus yog qhia raws li nram no:
Raws li tuaj yeem pom los ntawm daim duab saum toj no, qhov sib xyaw ua ke yog kab noj hniav sphere coated nrog dawb diffuse reflection txheej khoom ntawm phab ntsa sab hauv, thiab muaj lub qhov rais qhov ntawm lub pob phab ntsa, uas yog siv los ua lub teeb qhov ntawm qhov teeb meem teeb pom kev zoo. thiab qhov tau txais qhov ntawm lub teeb ntes.Nyob rau hauv no txoj kev, lub teeb nkag mus rau hauv lub integrating kheej kheej yog reflected ob peb zaug los ntawm lub puab phab ntsa txheej, tsim ib tug uniform illuminance nyob rau hauv lub puab phab ntsa, thiab tau txais los ntawm lub detector.
Ua piv txwv, cov qauv ntawm cov cuab yeej siv los ntsuas qhov kev xa tawm ntawm lub phaj kho qhov muag tau qhia hauv qab no
Hauv daim duab saum toj no, cov qauv kuaj tau muab tso rau ntawm lub rooj hloov kho uas tuaj yeem hloov pauv hauv x thiab y cov lus qhia.Kev xa tawm ntawm cov qauv tuaj yeem kuaj tau ntawm txhua txoj haujlwm los ntawm kev tswj hwm lub computer ntawm lub rooj hloov kho.Kev xa tawm ntawm tag nrho cov iav tiaj tus kuj tuaj yeem tau txais los ntawm kev ntsuas ntsuas, thiab qhov kev daws teeb meem ntawm qhov ntsuas yog nyob ntawm qhov chaw loj ntawm lub nqaj.
4. Kev ntsuas qhov cuam tshuam
Rau kev ntsuas ntawm optical zaj duab xis reflectivity, feem ntau muaj ob txoj hauv kev, ib qho yog ntsuas txheeb ze thiab lwm qhov yog qhov ntsuas qhov tseeb.Txoj kev ntsuas tus txheeb ze yuav tsum tau muaj qhov cuam tshuam nrog kev paub txog kev cuam tshuam los siv los ua ib qho kev siv rau kev sib piv.Nyob rau hauv kev xyaum, lub reflectance ntawm daim iav siv yuav tsum tau calibrated tsis tu ncua nrog cov laus los yog kis kab mob ntawm cov zaj duab xis txheej.Yog li, txoj kev no muaj peev xwm ntsuas qhov yuam kev.Cov txheej txheem ntawm kev ntsuas qhov ntsuas qhov tseeb yuav tsum tau ntsuas qhov ntsuas qhov cuam tshuam ntawm qhov ntsuas ntsuas yam tsis tas tso cov qauv.Nyob rau hauv daim duab hauv qab no, tus qauv ntawm cov classic VW ntaus ntawv yog muab los ua kom tiav qhov kev ntsuas ntawm qhov kev xav ntawm tus qauv:
Daim duab sab laug hauv daim duab saum toj no qhia tau hais tias tus qauv V-shaped muaj peb daim iav, M1, M2 thiab M3.Ua ntej, tus nqi siv lub teeb nyob rau hauv hom no yog kuaj thiab kaw li P1.Tom qab ntawd, hauv daim duab zoo, cov qauv hauv qab no tau muab tso rau hauv, thiab daim iav M2 tau tig mus rau qhov chaw sab saum toj los ua tus qauv W-shaped.Cov kev xav tsis meej ntawm cov qauv ntsuas tuaj yeem tau txais.Cov cuab yeej no tseem tuaj yeem txhim kho, piv txwv li, cov qauv hauv qab kev sim kuj tseem muaj lub rooj sib hloov ywj pheej, kom cov qauv hauv qab ntsuas tuaj yeem tig mus rau txhua lub kaum sab xis, los ntawm kev tig daim iav M2 mus rau qhov sib cuam tshuam, kom ua tiav qhov beam tso zis, thiaj li hais tias qhov kev xav ntawm cov qauv tuaj yeem kuaj ntawm ntau lub kaum ntse ntse.
Ua piv txwv, cov qauv ntawm cov cuab yeej siv los ntsuas qhov cuam tshuam ntawm lub phaj optical yog qhia hauv qab no:
Hauv daim duab saum toj no, cov qauv kuaj tau muab tso rau ntawm x / y txhais lus hloov kho lub rooj, thiab qhov kev xav ntawm tus qauv tuaj yeem kuaj tau ntawm txhua txoj haujlwm los ntawm lub computer tswj ntawm lub rooj hloov kho.Los ntawm kev soj ntsuam scanning, daim ntawv qhia kev faib tawm ntawm tag nrho cov iav tiaj tus kuj tuaj yeem tau txais.
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Post lub sij hawm: Apr-23-2024
