Тестирање на параметрите на филмот – пропустливост и рефлексивност

1 Параметри на перформанси по обложување

Во претходната статија ги претставивме функциите, принципите, софтверот за дизајн и вообичаените техники за обложување на оптичките тенки фолии.Во оваа статија, го воведуваме тестирањето на параметрите по обложување.Параметрите за изведба на површината на компонентата по обложувањето вклучуваат пропустливост (Проносливост), Рефлексија (R), Апсорпција (А) итн. Покрај тоа, апсорпција (Пренос) и така натаму.Карактеристиката на расејување S (Scatter) на површината на филмот исто така треба да се тестира и анализира.
Пропустливоста T е односот на енергијата на интензитетот на светлината што минува низ филмот до упадната светлосна енергија.Рефлексивноста R е односот на енергијата на интензитетот рефлектирана од површината на облогата до енергијата на упадот.Апсорпција А е односот на светлосната енергија апсорбирана од слојот на филмот до упадната светлосна енергија.За овие три параметри, постојат следниве врски:
T + R + A = 1

Односно, збирот на пропустливоста, рефлексивноста и апсорпцијата на филмскиот слој е константа 1. Тоа значи дека откако светлосниот зрак ќе помине низ мембраната, дел од него поминува, дел се рефлектира, а остатокот се апсорбира од мембраната.

Наоптичка компонентацртежи, обично се бара пропустливост или рефлексивност на површината на филмот, а спектралниот опсег и аголот на инциденца под состојбата на примена треба јасно да се дефинираат.Доколку е потребна и поларизација, опсегот на состојби на поларизација треба да биде јасно дефиниран.Како пример, барањата за обложување на сликата подолу се дека на 770 nm, рефлексивноста не треба да биде помала од 88% при инциденца од 45 степени, а на 550 nm, преносот не треба да биде помал од 70% при инциденца од 45 степени.

а

Покрај горенаведените оптички својства, треба да се земат предвид и механичките и хемиските својства на слојот на оптичкиот филм, вклучувајќи ја отпорноста на абење, цврстината, растворливоста на слојот на филмот.Покрај тоа, треба да се земе предвид и квалитетот на оптичката површина по облогата, вклучувајќи ги и барањата за дупчење, гребнатини, нечистотија, дамки итн.
2 Принцип на спектрофотометар

Во овој труд, ние се фокусираме на оптичките својства на методите за тестирање на филмот за да ги воведеме, во пракса, главниот спектрофотометар (спектрофотометар) и елипсометарот (елипсометар) за тестирање на параметрите на филмот, спектрофотометарот може да ги тестира пропустливоста, рефлексивноста и карактеристиките на апсорпција на оптичкиот производи.Елипсометарот може да ја мери дебелината и карактеристиките на поларизацијата на слојот на филмот, а принципот на двете е сличен.
Структурата на таков уред може да се подели на два дела од каналот за генерирање на зрак и каналот за прием на зракот, кога треба да се тестира пропустливоста на компонентата, компонентата се поставува во средината на двата канали, така што зракот поминува низ примерокот, кога треба да се тестира рефлексивноста на компонентата, компонентата се поставува на истата страна од двата канали, така што зракот се рефлектира од примерокот.Како пример, принципот на спектрофотометар за мерење на пропустливоста на примерокот е прикажан на следната слика:

б

На сликата погоре, левиот крај е каналот за генерирање зрак, кој користи извор на светлина со широк спектар за да емитува светлина, а потоа преку расцепување на решетката и изборот на процепот, излегува специфична бранова должина на светлина, зракот поминува низ колиматорот 1, станува колимиран зрак, а потоа поминува низ поларизаторот кој може да го ротира Аголот, станува поларизирана светлина, а поларизираната светлина се дели на 2 зраци со спектроскопот откако ќе се собере колиматорот 2.Светлосен зрак се рефлектира во референтниот детектор, каде што собраниот светлосен зрак се користи како референца за да се поправи енергетскиот нанос поради флуктуациите на изворот на светлина, а друг светлосен зрак поминува низ примерокот, се преобликува со колиматорот 3 и колиматорот 4, и влегува во детекторот на крајниот десен крај на тестот.Во вистинскиот тест, две енергетски вредности се добиваат со ставање и вадење на тестираниот примерок, а пропустливоста на примерокот може да се добие со споредување на енергијата.
Принципот на елипсометарот е сличен на принципот на горенаведениот спектрофотометар, освен што се додава ротирачка плоча од 1/4 бранови како компензационен елемент во каналот што го испраќа зракот и каналот за примање, а во каналот за примање се додава и поларизатор. , за да може пофлексибилно да се анализираат карактеристиките на поларизација на примерокот.Во некои случаи, елипсометарот, исто така, директно ќе користи извор на светлина со широк спектар и ќе усвои спектрометар со пресек и раздвојувач на приемниот крај, во комбинација со детектор со линеарна низа, за да го постигне тестот за перформанси на компонентата.
3. Тест на пропустливост

Во тестот за пропустливост, за да се избегне рефлексијата на детекторот што го прима светлосниот зрак, интегрираната сфера често се користи како приемник, принципот е прикажан на следниов начин:

в

Како што може да се види од горната слика, интегрираната сфера е шуплинска сфера обложена со бел материјал за обложување со дифузна рефлексија на внатрешниот ѕид, а на ѕидот од топката има прозорска дупка, која се користи како светлосна дупка на упадната светлина. и дупката за прием на светлосниот детектор.На овој начин, светлината што влегува во интегрираната сфера се рефлектира неколку пати преку облогата на внатрешниот ѕид, формирајќи еднообразно осветлување на внатрешниот ѕид и се прима од детекторот.
Како пример, структурата на уредот што се користи за тестирање на пропустливоста на оптичка плоча е прикажана подолу

г

На сликата погоре, тестираниот примерок е поставен на табела за прилагодување што може да се помести во насоките x и y.Преносот на примерокот може да се тестира на која било позиција со компјутерска контрола на табелата за прилагодување.Распределбата на пропустливоста на целото рамно стакло може да се добие и со тест за скенирање, а резолуцијата на тестот зависи од големината на точката на зракот.
4. Тест на рефлексивност

За мерење на рефлексивноста на оптичкиот филм, обично постојат два начина, едниот е релативно мерење, а другиот е апсолутно мерење.Методот на релативно мерење бара рефлектор со позната рефлексија да се користи како референца за споредбено тестирање.Во пракса, рефлексијата на референтното огледало треба редовно да се калибрира со стареење или контаминација на филмскиот слој.Затоа, овој метод има потенцијални грешки при мерењето.Методот на мерење на апсолутна рефлексивност бара калибрација на рефлексивноста на уредот за тестирање без поставување на примерокот.На сликата подолу, структурата на класичниот VW уред е дадена за да се постигне апсолутното мерење на рефлексивноста на примерокот:

д

Левата слика на горната слика покажува структура во облик на V составена од три огледала, M1, M2 и M3.Прво, вредноста на интензитетот на светлината во овој режим се тестира и се евидентира како P1.Потоа, на десната слика, се става примерокот што се тестира, а огледалото М2 се ротира до горната положба за да се формира структура во облик на W.Може да се добие апсолутната рефлексивност на измерениот примерок.Овој уред, исто така, може да се подобри, на пример, примерокот што се тестира е опремен и со независна ротирачка маса, така што примерокот што се тестира може да се ротира до кој било агол, со ротирање на огледалото М2 до соодветната положба на рефлексија, за да се постигне излез на зрак, така што рефлексивноста на примерокот може да се тестира под повеќе агли.
Како пример, структурата на уредот што се користи за тестирање на рефлексивноста на оптичката плоча е прикажана подолу:

ѓ

На сликата погоре, тестираниот примерок е поставен на табелата за прилагодување на преводот x/y, а рефлексивноста на примерокот може да се тестира на која било позиција преку компјутерската контрола на табелата за прилагодување.Преку тестот за скенирање може да се добие и картата на дистрибуција на рефлексија на целото рамно стакло.

Контакт:
Email:jasmine@pliroptics.com ;
Телефон/Whatsapp/Wechat:86 19013265659
веб: www.pliroptics.com

Додај:Зграда 1, бр.1558, разузнавачки пат, Кингбајџијанг, Ченгду, Сечуан, Кина


Време на објавување: 23 април 2024 година