1 Parameter kinerja sanggeus palapis
Dina artikel saméméhna, urang ngawanohkeun fungsi, prinsip, software desain jeung téhnik palapis umum tina film ipis optik.Dina artikel ieu kami ngenalkeun uji parameter post-coating.Parameter kinerja beungeut komponén sanggeus palapis kaasup Transmittance (Transmittance), Reflectance (R), Nyerep (A), jsb Sajaba ti éta, nyerep (Transmittance) jeung saterusna.Karakteristik paburencay S (Scatter) tina permukaan pilem ogé kedah diuji sareng dianalisis.
Transmitansi T nyaéta babandingan énergi inténsitas cahaya anu ngaliwatan pilem ka énergi cahaya kajadian.Reflectance R nyaéta babandingan énergi inténsitas anu dipantulkeun ku permukaan palapis sareng énergi kajadian.Nyerep A nyaéta babandingan énergi cahaya diserep ku lapisan film jeung énergi cahaya kajadian.Pikeun tilu parameter ieu, aya hubungan di handap ieu:
T + R + A = 1
Nyaéta, jumlah transmitansi, pantulan sareng nyerep lapisan pilem nyaéta konstanta 1. Ieu ngandung harti yén sanggeus sinar lampu ngaliwatan mémbran, bagian tina eta dialirkeun, bagian tina eta reflected jauh, sarta sésana. diserep ku mémbran.
Dinakomponén optikgambar, transmittance atanapi reflectivity tina beungeut pilem biasana diperlukeun, sarta rentang spéktral jeung incidence Angle handapeun kaayaan aplikasi kudu dihartikeun jelas.Upami polarisasi ogé diperyogikeun, kisaran kaayaan polarisasi kedah ditetepkeun sacara jelas.Salaku conto, syarat palapis dina gambar di handap ieu nyaéta yén dina 770nm, pantulan kedahna henteu kirang ti 88% dina insiden 45 derajat, sareng dina 550nm, transmitansi kedah henteu kirang ti 70% dina insiden 45 derajat.
Salian sipat optik di luhur, sipat mékanis jeung kimia lapisan pilem optik ogé kudu dianggap, kaasup résistansi maké, firmness, kaleyuran tina lapisan pilem.Salaku tambahan, kualitas permukaan optik saatos palapis ogé kedah diperhatoskeun, kalebet syarat pikeun ngadu, goresan, kokotor, noda, jsb.
2 Prinsip spéktrofotométer
Dina makalah ieu, urang difokuskeun sipat optik sahiji metodeu test pilem pikeun ngawanohkeun, dina prakna, nu Spectrophotometer utama (Spectrophotometer) jeung Ellipsometer (Ellipsometer) pikeun nguji parameter pilem, spectrophotometer bisa nguji transmittance, reflectivity jeung ciri nyerep optik. produk.Ellipsometer tiasa ngukur ketebalan sareng ciri polarisasi lapisan pilem, sareng prinsipna sami.
Struktur alat sapertos kitu tiasa dibagi jadi dua bagian saluran generasi beam sareng saluran panampi beam, nalika transmitansi komponén kedah diuji, komponénna disimpen di tengah dua saluran, supados balok ngaliwatan sampel, nalika reflectivity sahiji komponén perlu diuji, komponén ieu disimpen dina sisi sarua dua saluran, ku kituna beam ieu reflected ku sampel.Salaku conto, prinsip spéktrofotométer pikeun ngukur transmitansi sampel dipidangkeun dina gambar ieu:
Dina gambar di luhur, tungtung kénca nyaéta saluran generasi beam, ngagunakeun sumber cahaya spéktrum lega mun emit lampu, lajeng ngaliwatan bengkahna grating jeung seleksi celah, kaluaran panjang gelombang husus cahaya, beam ngaliwatan. collimator 1, jadi beam collimated, lajeng ngaliwatan polarizer nu bisa muterkeun Angle, jadi lampu polarized, sarta lampu polarized dibagi kana 2 balok ku spéktroskop sanggeus collimator nu 2 dikumpulkeun.Sinar cahaya dipantulkeun kana detektor rujukan, dimana sinar cahaya anu dikumpulkeun dianggo salaku rujukan pikeun ngabenerkeun hanyutan énérgi kusabab fluctuations sumber cahaya, sareng sinar cahaya anu sanés ngalangkungan sampel, dibentuk deui ku kolimator 3 sareng kolimator. 4, sarta asup ka detektor di tungtung tebih katuhu tina tés.Dina tés saleresna, dua nilai énergi dicandak ku cara nempatkeun sareng nyandak conto anu diuji, sareng pancaran sampel tiasa didapet ku ngabandingkeun énergi.
Prinsip ellipsometer sarua jeung prinsip spéktrofotométer di luhur, iwal hiji puteran 1/4 plat gelombang ditambahkeun salaku unsur santunan dina beam ngirim channel jeung saluran panarima, sarta polarizer ogé ditambahkeun dina saluran panarima. , ku kituna ciri polarisasi sampel bisa dianalisis leuwih flexibly.Dina sababaraha kasus, ellipsometer ogé bakal langsung ngagunakeun sumber cahaya spéktrum lega, sarta ngadopsi sesela jeung spéktrométer splitter dina tungtung panarima, digabungkeun jeung detektor Asép Sunandar Sunarya linier, pikeun ngahontal test kinerja komponén.
3. Uji transmitansi
Dina tes transmitansi, pikeun nyingkahan pantulan detektor anu nampi sinar cahaya, lapisan integrasi sering dianggo salaku panarima, prinsipna dipidangkeun kieu:
Sapertos anu tiasa ditingali tina gambar di luhur, bal anu ngahijikeun nyaéta lapisan rongga anu dilapis ku bahan palapis refleksi diffuse bodas dina témbok jero, sareng aya liang jandela dina témbok bal, anu dianggo salaku liang cahaya tina lampu kajadian. jeung liang panarima tina detektor cahaya.Ku cara kieu, cahaya anu asup kana lapisan integrasi dipantulkeun sababaraha kali ngaliwatan palapis témbok jero, ngabentuk illuminance seragam dina témbok jero, sareng ditampi ku detektor.
Salaku conto, struktur alat anu digunakeun pikeun nguji transmitansi piring optik dipidangkeun di handap
Dina gambar di luhur, sampel diuji disimpen dina tabel adjustment nu bisa bergeser dina arah x jeung y.The transmittance tina sampel bisa diuji dina sagala posisi ku kontrol komputer tabel adjustment.Distribusi transmitansi sadaya kaca datar ogé tiasa didapet ku uji scanning, sareng résolusi tés gumantung kana ukuran titik balok.
4. Uji Reflectivity
Pikeun pangukuran reflektivitas pilem optik, biasana aya dua cara, hiji nyaéta pangukuran rélatif sareng anu sanésna nyaéta pangukuran mutlak.Métode pangukuran rélatif ngabutuhkeun pemantul anu dipikanyaho pikeun dianggo salaku référénsi pikeun tés ngabandingkeun.Dina prakték, reflectance tina eunteung rujukan perlu calibrated rutin kalawan sepuh atawa kontaminasi tina lapisan pilem.Ku alatan éta, métode ieu boga poténsi kasalahan pangukuran.Métode pangukuran reflectivity mutlak merlukeun calibration tina reflectivity alat test tanpa nempatkeun sampel.Dina gambar di handap ieu, struktur alat VW klasik dirumuskeun pikeun ngahontal pangukuran mutlak tina reflectivity sampel:
Gambar kénca dina gambar di luhur nembongkeun struktur V ngawangun diwangun ku tilu kaca spion, M1, M2 jeung M3.Kahiji, nilai inténsitas cahaya dina modeu ieu diuji sarta dirékam salaku P1.Teras, dina gambar anu leres, sampel anu diuji dilebetkeun, sareng kaca spion M2 diputar ka posisi luhur pikeun ngabentuk struktur W-ngawangun.Reflektivitas mutlak tina sampel anu diukur tiasa didapet.Alat ieu ogé tiasa ditingkatkeun, contona, conto anu diuji ogé dilengkepan tabel puteran mandiri, ku kituna sampel anu diuji tiasa diputerkeun ka sudut mana waé, ku cara muterkeun eunteung M2 ka posisi cerminan anu saluyu, pikeun ngahontal kaluaran beam, ku kituna reflectivity sampel bisa diuji dina sababaraha sudut.
Salaku conto, struktur alat anu digunakeun pikeun nguji réflektifitas piring optik dipidangkeun di handap:
Dina gambar di luhur, sampel diuji disimpen dina x / y tabel adjustment tarjamah, sarta reflectivity tina sampel bisa diuji dina posisi mana wae ngaliwatan kontrol komputer tina tabel adjustment.Ngaliwatan tes scanning, peta distribution reflectance sakabeh kaca datar ogé bisa diala.
Kontak:
Email:jasmine@pliroptics.com ;
Telepon/Whatsapp/Wechat:86 19013265659
Situs Web: www.pliroptics.com
Tambah:Gedong 1, No.1558, jalan kecerdasan, qingbaijiang, chengdu, Sichuan, china
waktos pos: Apr-23-2024
