1 Darbības parametri pēc pārklājuma
Iepriekšējā rakstā mēs iepazīstinājām ar optisko plāno plēvju funkcijām, principiem, projektēšanas programmatūru un izplatītākajām pārklāšanas metodēm.Šajā rakstā mēs iepazīstinām ar pēcpārklājuma parametru pārbaudi.Detaļas virsmas veiktspējas parametri pēc pārklājuma ietver caurlaidību (caurlaidību), atstarošanu (R), absorbciju (A) utt. Turklāt absorbcija (caurlaidība) un tā tālāk.Jāpārbauda un jāanalizē arī plēves virsmas izkliedes raksturlielums S (izkliede).
Caurlaidība T ir gaismas intensitātes enerģijas attiecība, kas iet cauri plēvei, un krītošās gaismas enerģiju.Atstarošanas spēja R ir pārklājuma virsmas atspoguļotās intensitātes enerģijas attiecība pret krītošo enerģiju.Absorbcija A ir plēves slāņa absorbētās gaismas enerģijas attiecība pret krītošās gaismas enerģiju.Šiem trim parametriem pastāv šādas attiecības:
T + R + A = 1
Tas ir, plēves slāņa caurlaidības, atstarošanas un absorbcijas summa ir konstante 1. Tas nozīmē, ka pēc tam, kad gaismas stars iziet cauri membrānai, daļa no tā tiek izlaista cauri, daļa tiek atstarota, bet pārējā daļa to absorbē membrāna.
Uzoptiskā sastāvdaļarasējumos, parasti ir nepieciešama plēves virsmas caurlaidība vai atstarošanās spēja, un skaidri jānosaka spektrālais diapazons un krišanas leņķis lietošanas stāvoklī.Ja ir nepieciešama arī polarizācija, ir skaidri jānosaka polarizācijas stāvokļu diapazons.Piemēram, pārklājuma prasības zemāk redzamajā attēlā ir tādas, ka pie 770 nm atstarošanas spējai jābūt ne mazākai par 88% pie 45 grādu krišanas, un pie 550 nm caurlaidībai jābūt ne mazākai par 70% pie 45 grādu krišanas.
Papildus iepriekšminētajām optiskajām īpašībām jāņem vērā arī optiskās plēves slāņa mehāniskās un ķīmiskās īpašības, tostarp plēves slāņa nodilumizturība, stingrība, šķīdība.Turklāt ir jāņem vērā arī optiskās virsmas kvalitāte pēc pārklājuma, tostarp prasības pret bedrēm, skrāpējumiem, netīrumiem, traipiem utt.
2 Spektrofotometra princips
Šajā rakstā mēs koncentrējamies uz plēves testa metožu optiskajām īpašībām, lai praksē ieviestu galveno spektrofotometru (spekttrofotometru) un elipsometru (elipsometru), lai pārbaudītu plēves parametrus, spektrofotometrs var pārbaudīt optiskās gaismas caurlaidības, atstarošanas un absorbcijas raksturlielumus. produktiem.Elipsometrs var izmērīt plēves slāņa biezumu un polarizācijas raksturlielumus, un abu princips ir līdzīgs.
Šādas ierīces uzbūvi var iedalīt divās daļās staru ģenerēšanas kanālā un staru uztveršanas kanālā, kad nepieciešams pārbaudīt komponenta caurlaidību, komponentu novieto abu kanālu vidū, lai staru kūlis. iet cauri paraugam, kad jāpārbauda komponenta atstarošanas spēja, komponents tiek novietots vienā un tajā pašā pusē no diviem kanāliem, lai paraugs atstarotu staru.Piemēram, spektrofotometra princips parauga caurlaidības mērīšanai ir parādīts šajā attēlā:
Iepriekš redzamajā attēlā kreisais gals ir staru ģenerēšanas kanāls, izmantojot plaša spektra gaismas avotu, lai izstarotu gaismu, un pēc tam, sadalot režģi un izvēloties spraugu, izvadot noteiktu gaismas viļņa garumu, stars iet cauri. kolimators 1 kļūst par kolimētu staru kūli un pēc tam iziet cauri polarizatoram, kas var pagriezt leņķi, kļūst par polarizētu gaismu, un pēc kolimatora 2 savākšanas polarizētā gaisma ar spektroskopu tiek sadalīta 2 staros.Gaismas stars tiek atstarots atsauces detektorā, kur savākto gaismas staru izmanto kā atskaiti, lai koriģētu gaismas avota svārstību radīto enerģijas novirzi, un cits gaismas stars, kas iziet cauri paraugam, tiek pārveidots ar kolimatoru 3 un kolimatoru. 4, un ievada detektoru testa labajā galā.Faktiskajā testā, ieliekot un izņemot pārbaudīto paraugu, iegūst divas enerģijas vērtības, un parauga caurlaidību var iegūt, salīdzinot enerģiju.
Elipsometra darbības princips ir līdzīgs iepriekšminētā spektrofotometra principam, izņemot to, ka staru kūļa nosūtīšanas kanālā un uztveršanas kanālā kā kompensācijas elements tiek pievienota rotējoša 1/4 viļņa plāksne, kā arī uztveršanas kanālā ir pievienots polarizators. , lai parauga polarizācijas raksturlielumus varētu analizēt elastīgāk.Dažos gadījumos elipsometrs tieši izmantos plaša spektra gaismas avotu un pieņem spraugas un sadalītāja spektrometru uztveršanas galā apvienojumā ar lineāro masīvu detektoru, lai veiktu komponenta veiktspējas pārbaudi.
3. Caurlaidības pārbaude
Caurlaidības pārbaudē, lai izvairītos no gaismas staru uztverošā detektora atstarošanās, integrējošā sfēra bieži tiek izmantota kā uztvērējs, princips ir parādīts šādi:
Kā redzams no iepriekšējā attēla, integrējošā sfēra ir dobuma sfēra, kas pārklāta ar baltu difūzu atstarojošu pārklājuma materiālu uz iekšējās sienas, un lodītes sienā ir loga caurums, ko izmanto kā krītošās gaismas gaismas caurumu. un gaismas detektora uztveršanas atvere.Tādā veidā gaisma, kas nonāk integrējošajā sfērā, vairākas reizes tiek atstarota caur iekšējās sienas pārklājumu, veidojot vienmērīgu apgaismojumu uz iekšējās sienas, un to uztver detektors.
Kā piemērs ir parādīta ierīces struktūra, ko izmanto optiskās plāksnes caurlaidības pārbaudei
Iepriekš redzamajā attēlā pārbaudītais paraugs ir novietots uz regulēšanas galda, kuru var pārvietot x un y virzienā.Parauga caurlaidību var pārbaudīt jebkurā pozīcijā, izmantojot regulēšanas galda datorvadību.Visa plakana stikla caurlaidības sadalījumu var iegūt arī ar skenēšanas testu, un testa izšķirtspēja ir atkarīga no stara vietas izmēra.
4. Atstarošanās tests
Optiskās plēves atstarošanas mērīšanai parasti ir divi veidi: viens ir relatīvais mērījums, bet otrs ir absolūtais mērījums.Relatīvā mērīšanas metode paredz, ka atstarotājs ar zināmu atstarošanas koeficientu jāizmanto kā atsauce salīdzināšanas testēšanai.Praksē atskaites spoguļa atstarošanās spēja regulāri jākalibrē, ņemot vērā plēves slāņa novecošanos vai piesārņojumu.Tāpēc šai metodei ir iespējamas mērījumu kļūdas.Absolūtās atstarošanas mērīšanas metode prasa testa ierīces atstarošanas kalibrēšanu, nenovietojot paraugu.Zemāk redzamajā attēlā ir norādīta klasiskās VW ierīces struktūra, lai sasniegtu parauga atstarošanas absolūto mērījumu:
Kreisajā attēlā parādīta V formas struktūra, kas sastāv no trim spoguļiem M1, M2 un M3.Pirmkārt, gaismas intensitātes vērtība šajā režīmā tiek pārbaudīta un reģistrēta kā P1.Pēc tam labajā attēlā tiek ievietots testējamais paraugs un M2 spogulis tiek pagriezts augšējā pozīcijā, lai izveidotu W formas struktūru.Var iegūt izmērītā parauga absolūto atstarošanas spēju.Šo ierīci var arī uzlabot, piemēram, pārbaudāmais paraugs ir aprīkots arī ar neatkarīgu rotējošu galdu, lai pārbaudāmo paraugu varētu pagriezt jebkurā leņķī, pagriežot M2 spoguli atbilstošā atstarošanas pozīcijā, lai sasniegtu staru kūļa izvade, lai parauga atstarošanas spēju varētu pārbaudīt vairākos leņķos.
Kā piemērs ir parādīta ierīces struktūra, ko izmanto, lai pārbaudītu optiskās plāksnes atstarošanas spēju:
Iepriekš redzamajā attēlā pārbaudītais paraugs ir novietots uz x/y translācijas regulēšanas galda, un parauga atstarošanas spējas var pārbaudīt jebkurā pozīcijā, izmantojot regulēšanas tabulas datora vadību.Izmantojot skenēšanas testu, var iegūt arī visa plakana stikla atstarošanas sadalījuma karti.
Kontaktpersona:
Email:jasmine@pliroptics.com ;
Tālrunis/Whatsapp/Wechat:86 19013265659
tīmekļa vietne: www.pliroptics.com
Pievienot: 1. ēka, Nr. 1558, izlūkošanas ceļš, Cjinbaidzjana, Čendu, Sičuaņa, Ķīna
Publicēšanas laiks: 23.04.2024
