1 Параметры прадукцыйнасці пасля нанясення пакрыцця
У папярэднім артыкуле мы пазнаёмілі з функцыямі, прынцыпамі, праграмным забеспячэннем для распрацоўкі і агульнымі метадамі пакрыцця аптычных тонкіх плёнак.У гэтым артыкуле мы пазнаёмімся з тэставаннем параметраў пасля нанясення пакрыцця.Параметры прадукцыйнасці паверхні кампанента пасля нанясення пакрыцця ўключаюць каэфіцыент прапускання (Transmittance), каэфіцыент адлюстравання (R), каэфіцыент паглынання (A) і г.д. Акрамя таго, каэфіцыент паглынання (Transmittance) і гэтак далей.Характарыстыку рассейвання S (Scatter) паверхні плёнкі таксама неабходна праверыць і прааналізаваць.
Каэфіцыент прапускання Т - гэта стаўленне энергіі інтэнсіўнасці святла, якая праходзіць праз плёнку, да энергіі падаючага святла.Каэфіцыент адлюстравання R - гэта стаўленне энергіі інтэнсіўнасці, адлюстраванай паверхняй пакрыцця, да энергіі падзення.Паглынанне А - гэта стаўленне светлавой энергіі, паглынутай пластом плёнкі, да энергіі падаючага святла.Для гэтых трох параметраў існуюць наступныя адносіны:
T + R + A = 1
Гэта значыць, сума прапускання, адбівальнай здольнасці і паглынання плёнкавага пласта роўная канстанце 1. Гэта азначае, што пасля праходжання прамяня святла праз мембрану частка яго прапускаецца, частка адбіваецца, а астатняя частка паглынаецца мембранай.
На стаптычны кампанентНа чарцяжах звычайна патрабуецца каэфіцыент прапускання або адбівальнай здольнасці паверхні плёнкі, а спектральны дыяпазон і кут падзення пад станам нанясення павінны быць дакладна вызначаны.Калі таксама патрабуецца палярызацыя, дыяпазон станаў палярызацыі павінен быць дакладна вызначаны.У якасці прыкладу патрабаванні да пакрыцця на малюнку ніжэй заключаюцца ў тым, што пры 770 нм каэфіцыент адбівальнай здольнасці павінен быць не менш за 88% пры куце падзення 45 градусаў, а пры 550 нм каэфіцыент прапускання павінен быць не менш за 70% пры куце падзення 45 градусаў.
У дадатак да вышэйпералічаных аптычных уласцівасцей таксама неабходна ўлічваць механічныя і хімічныя ўласцівасці пласта аптычнай плёнкі, уключаючы зносаўстойлівасць, цвёрдасць і растваральнасць пласта плёнкі.Акрамя таго, неабходна ўлічваць якасць аптычнай паверхні пасля нанясення пакрыцця, уключаючы патрабаванні да вылучэнняў, драпін, бруду, плям і г.д.
2 Прынцып дзеяння спектрафатометра
У гэтым артыкуле мы сканцэнтраваны на аптычных уласцівасцях метадаў выпрабаванняў плёнкі, каб увесці на практыцы асноўныя спектрафатометр (Spectrophotometer) і эліпсаметр (эліпсаметр) для праверкі параметраў плёнкі, спектрафатометр можа праверыць характарыстыкі прапускання, адбівальнай здольнасці і паглынання аптычных прадукты.Эліпсометр можа вымяраць таўшчыню і палярызацыйныя характарыстыкі пласта плёнкі, і прынцып абодвух падобны.
Структуру такой прылады можна падзяліць на дзве часткі: канал генерацыі прамяня і канал прыёму прамяня, калі трэба праверыць прапусканне кампанента, кампанент размяшчаецца ў сярэдзіне двух каналаў, каб прамень праходзіць праз узор, калі неабходна праверыць адбівальную здольнасць кампанента, кампанент змяшчаецца з аднаго боку ад двух каналаў, каб прамень адлюстроўваўся ад узору.У якасці прыкладу прынцып працы спектрафатометра для вымярэння каэфіцыента прапускання ўзору паказаны на наступным малюнку:
На малюнку вышэй левы канец - гэта канал генерацыі прамяня, які выкарыстоўвае крыніцу святла шырокага спектру для выпраменьвання святла, а затым праз расшчапленне рашоткі і выбар шчыліны, выхад святла пэўнай даўжыні хвалі, прамень праходзіць праз каліматар 1, становіцца калімаваным прамянём, а затым праходзіць праз палярызатар, які можа паварочваць кут, становіцца палярызаваным святлом, і палярызаванае святло дзеліцца на 2 пучка спектраскопам пасля таго, як каліматар 2 сабраны.Прамень святла адлюстроўваецца ў эталонным дэтэктары, дзе сабраны прамень святла выкарыстоўваецца ў якасці эталона для карэкцыі дрэйфу энергіі з-за флуктуацый крыніцы святла, а іншы прамень святла праходзіць праз узор, змяняецца каліматар 3 і каліматар 4, і ўваходзіць у дэтэктар у крайнім правым канцы тэсту.У рэальным тэсце два значэнні энергіі атрымліваюць шляхам увядзення і вымання доследнага ўзору, а каэфіцыент прапускання ўзору можна атрымаць шляхам параўнання энергіі.
Прынцып эліпсаметра падобны да прынцыпу вышэйзгаданага спектрафатометра, за выключэннем таго, што верціцца 1/4 хвалевай пласціны дадаецца ў якасці кампенсацыйнага элемента ў канале адпраўкі прамяня і ў прыёмным канале, а таксама ў канале прыёму дадаецца палярызатар. , так што палярызацыйныя характарыстыкі ўзору можна аналізаваць больш гнутка.У некаторых выпадках эліпсаметр таксама будзе непасрэдна выкарыстоўваць крыніцу святла шырокага спектру і выкарыстоўваць спектрометр са шчылінамі і раздзяляльнікам на прыёмным канцы ў спалучэнні з лінейным дэтэктарам, каб дасягнуць прадукцыйнасці кампанента.
3. Тэст на прапусканне
У тэсце на прапусканне, каб пазбегнуць адлюстравання дэтэктара, які прымае прамень святла, інтэгруючая сфера часта выкарыстоўваецца ў якасці прымача, прынцып паказаны наступным чынам:
Як відаць з прыведзенага вышэй малюнка, інтэгруючая сфера ўяўляе сабой сферу з паражніной, пакрытую белым матэрыялам дыфузнага адлюстравання на ўнутранай сценцы, а на сценцы шара ёсць аконная адтуліна, якая выкарыстоўваецца ў якасці светлавога адтуліны для падаючага святла і прыёмнае адтуліну дэтэктара святла.Такім чынам, святло, якое трапляе ў інтэгравальную сферу, некалькі разоў адлюстроўваецца праз пакрыццё ўнутранай сценкі, утвараючы раўнамернае асвятленне на ўнутранай сценцы, і прымаецца дэтэктарам.
У якасці прыкладу структура прылады, якая выкарыстоўваецца для праверкі прапускання аптычнай пласціны, паказана ніжэй
На малюнку вышэй выпрабаваны ўзор размешчаны на рэгулявальным стале, які можна зрушваць у напрамках x і y.Каэфіцыент прапускання ўзору можа быць правераны ў любым становішчы з дапамогай камп'ютэрнага кіравання рэгулявальным сталом.Размеркаванне каэфіцыента прапускання ўсяго плоскага шкла можна таксама атрымаць з дапамогай тэсту сканавання, і раздзяляльнасць тэсту залежыць ад памеру плямы прамяня.
4. Тэст на адбівальную здольнасць
Для вымярэння адбівальнай здольнасці аптычнай плёнкі звычайна існуюць два спосабы: адно - адноснае, а другое - абсалютнае.Метад адноснага вымярэння патрабуе выкарыстання адбівальніка з вядомым каэфіцыентам адлюстравання ў якасці эталона для параўнальнага тэставання.На практыцы каэфіцыент адлюстравання эталоннага люстэрка неабходна рэгулярна калібраваць у залежнасці ад старэння або забруджвання пласта плёнкі.Такім чынам, гэты метад мае магчымыя памылкі вымярэнняў.Метад вымярэння абсалютнага адбівальнай здольнасці патрабуе каліброўкі адбівальнай здольнасці выпрабавальнай прылады без размяшчэння ўзору.На малюнку ніжэй паказана структура класічнага прыбора VW для дасягнення абсалютнага вымярэння адбівальнай здольнасці ўзору:
Левы малюнак на малюнку вышэй паказвае V-вобразную структуру, якая складаецца з трох люстэркаў, M1, M2 і M3.Спачатку значэнне інтэнсіўнасці святла ў гэтым рэжыме правяраецца і запісваецца як P1.Затым на правым малюнку ўстаўляецца доследны ўзор, і люстэрка M2 паварочваецца ў верхняе становішча, каб сфармаваць W-вобразную структуру.Можна атрымаць абсалютную адбівальную здольнасць вымеранага ўзору.Гэта прылада таксама можа быць палепшана, напрыклад, доследны ўзор таксама абсталяваны незалежным паваротным сталом, так што даследуемы ўзор можна паварочваць пад любым вуглом, паварочваючы люстэрка M2 у адпаведнае становішча адлюстравання, для дасягнення выхад прамяня, так што адбівальная здольнасць ўзору можа быць праверана пад рознымі кутамі.
У якасці прыкладу структура прылады, якая выкарыстоўваецца для праверкі адбівальнай здольнасці аптычнай пласціны, паказана ніжэй:
На малюнку вышэй выпрабаваны ўзор змешчаны на стол рэгулявання перакладу x/y, і адбівальную здольнасць узору можна праверыць у любым становішчы з дапамогай кампутарнага кіравання рэгулявальным сталом.З дапамогай тэсту сканавання таксама можна атрымаць карту размеркавання каэфіцыента адлюстравання ўсяго плоскага шкла.
Кантакты:
Email:jasmine@pliroptics.com ;
Тэлефон/Whatsapp/Wechat: 86 19013265659
вэб-сайт: www.pliroptics.com
Дадаць: будынак 1, № 1558, інтэлект-роўд, Цынбайцзян, Чэнду, Сычуань, Кітай
Час публікацыі: 23 красавіка 2024 г
