1 Parameter kinerja sawise lapisan
Ing artikel sadurunge, kita ngenalake fungsi, prinsip, piranti lunak desain lan teknik lapisan umum film tipis optik.Ing artikel iki, kita ngenalake tes paramèter post-coating.Parameter kinerja permukaan komponen sawise lapisan kalebu Transmittance (Transmittance), Reflectance (R), Absorptance (A), etc. Kajaba iku, panyerepan (Transmittance) lan liya-liyane.Karakteristik scattering S (Scatter) saka lumahing film uga kudu dites lan dianalisis.
Transmitansi T yaiku rasio energi intensitas cahya sing ngliwati film karo energi cahya kedadeyan.Reflektansi R yaiku rasio energi intensitas sing dibayangke dening permukaan lapisan menyang energi kedadeyan.Penyerapan A yaiku rasio energi cahya sing diserap dening lapisan film karo energi cahya kedadeyan.Kanggo telung paramèter kasebut, ana hubungan ing ngisor iki:
T + R + A = 1
Sing, jumlah transmitansi, reflektivitas lan panyerepan lapisan film yaiku konstanta 1. Iki tegese sawise sinar cahya ngliwati membran, bagean kasebut dilewati, sebagian dibayangke, lan liyane. diserap dening membran.
Ingkomponen optikgambar, transmitansi utawa reflectivity saka lumahing film biasane dibutuhake, lan sawetara spektral lan kedadean Angle ing negara aplikasi kudu ditetepake cetha.Yen polarisasi uga dibutuhake, sawetara negara polarisasi kudu ditetepake kanthi jelas.Contone, syarat lapisan ing gambar ing ngisor iki yaiku ing 770nm, reflektivitas kudu ora kurang saka 88% ing insiden 45 derajat, lan ing 550nm, transmitansi kudu ora kurang saka 70% ing insiden 45 derajat.
Saliyane sifat optik ing ndhuwur, sifat mekanik lan kimia saka lapisan film optik uga kudu dianggep, kalebu resistance nyandhang, firmness, kelarutan lapisan film.Kajaba iku, kualitas permukaan optik sawise lapisan uga kudu dianggep, kalebu syarat kanggo pitting, goresan, rereget, noda, lan liya-liyane.
2 Prinsip spektrofotometer
Ing makalah iki, kita fokus ing sifat optik saka cara tes film kanggo ngenalake, ing praktik, Spektrofotometer utama (Spectrophotometer) lan Ellipsometer (Ellipsometer) kanggo nguji paramèter film, spektrofotometer bisa nguji transmitansi, reflektivitas lan karakteristik panyerepan optik. produk.Ellipsometer bisa ngukur kekandelan lan karakteristik polarisasi lapisan film, lan prinsip loro-lorone padha.
Struktur piranti kasebut bisa dipérang dadi rong bagéan saka saluran generasi balok lan saluran panampa balok, nalika transmitansi komponen kudu diuji, komponen kasebut diselehake ing tengah loro saluran kasebut, supaya balok liwat sampel, nalika reflektivitas komponen kudu dites, komponèn diselehake ing sisih padha loro saluran, supaya balok dibayangke dening sampel.Minangka conto, prinsip spektrofotometer kanggo ngukur transmitansi sampel ditampilake ing gambar ing ngisor iki:
Ing tokoh ndhuwur, mburi kiwa punika saluran generasi Beam, nggunakake sumber cahya spektrum sudhut kanggo emit cahya, lan banjur liwat pisah saka grating lan pilihan saka irisan, output dawa gelombang tartamtu saka cahya, Beam liwat liwat. collimator 1, dadi sinar collimated, lan banjur liwat polarizer sing bisa muter Angle, dadi cahya polarized, lan cahya polarized dipérang dadi 2 sinar dening spectroscope sawise collimator 2 dikumpulake.Beam cahya dibayangke menyang detektor referensi, ing ngendi sinar cahya sing diklumpukake digunakake minangka referensi kanggo mbenerake drift energi amarga fluktuasi sumber cahya, lan sinar cahya liyane liwat sampel, dibentuk maneh dening collimator 3 lan collimator. 4, lan mlebu detektor ing sisih tengen tes.Ing tes nyata, rong nilai energi dipikolehi kanthi nglebokake lan njupuk sampel sing diuji, lan transmisi sampel bisa dipikolehi kanthi mbandhingake energi.
Prinsip ellipsometer padha karo prinsip spektrofotometer ing ndhuwur, kajaba piring gelombang 1/4 sing puteran ditambahake minangka unsur kompensasi ing saluran pangirim sinar lan saluran panampa, lan polarizer uga ditambahake ing saluran panampa. , supaya karakteristik polarisasi sampel bisa dianalisis kanthi luwih fleksibel.Ing sawetara kasus, ellipsometer uga bakal langsung nggunakake sumber cahya spektrum sudhut, lan nganggo spektrometer irisan lan splitter ing mburi panampa, digabungake karo detektor array linear, kanggo entuk test kinerja komponen.
3. Test saka transmitansi
Ing tes transmitansi, kanggo ngindhari refleksi saka detektor sing nampa sinar cahya, bola integrasi asring digunakake minangka panrima, prinsip kasebut ditampilake ing ngisor iki:
Kaya sing bisa dideleng saka gambar ing ndhuwur, bal integrasi yaiku bal rongga sing dilapisi bahan lapisan refleksi putih sing nyebar ing tembok njero, lan ana bolongan jendhela ing tembok bal, sing digunakake minangka bolongan cahya saka cahya kedadeyan. lan bolongan panampa detektor cahya.Kanthi cara iki, cahya sing mlebu ing bal integrasi dibayangke kaping pirang-pirang liwat lapisan tembok njero, mbentuk iluminasi seragam ing tembok njero, lan ditampa dening detektor.
Minangka conto, struktur piranti sing digunakake kanggo nguji transmitansi piring optik ditampilake ing ngisor iki
Ing gambar ing ndhuwur, sampel sing dites diselehake ing tabel pangaturan sing bisa dipindhah menyang arah x lan y.Transmisi sampel bisa dites ing posisi apa wae kanthi kontrol komputer ing meja pangaturan.Distribusi transmitansi saka kaca warata kabeh uga bisa dipikolehi kanthi tes mindhai, lan resolusi tes gumantung saka ukuran titik balok.
4. Tes refleksi
Kanggo pangukuran reflektivitas film optik, biasane ana rong cara, siji yaiku pangukuran relatif lan liyane yaiku pangukuran absolut.Cara pangukuran relatif mbutuhake reflektor kanthi pantulan sing dikenal kanggo digunakake minangka referensi kanggo tes perbandingan.Ing praktik, reflektansi pangilon referensi kudu dikalibrasi kanthi rutin kanthi tuwa utawa kontaminasi lapisan film.Mulane, metode iki nduweni potensi kesalahan pangukuran.Cara pangukuran reflektivitas absolut mbutuhake kalibrasi reflektivitas piranti tes tanpa nyelehake sampel.Ing gambar ing ngisor iki, struktur piranti VW klasik diwenehi kanggo entuk pangukuran absolut saka reflektivitas sampel:
Gambar kiwa ing gambar ndhuwur nuduhake struktur V-shaped dumadi saka telung mirrors, M1, M2 lan M3.Kaping pisanan, nilai intensitas cahya ing mode iki dites lan direkam minangka P1.Banjur, ing gambar sing bener, sampel sing diuji dilebokake, lan pangilon M2 diputar menyang posisi paling dhuwur kanggo mbentuk struktur berbentuk W.Reflektivitas absolut saka sampel sing diukur bisa dipikolehi.Piranti iki uga bisa ditingkatake, contone, sampel ing test uga dilengkapi karo meja puteran sawijining, supaya sampel ing test bisa diputer menyang sembarang Angle, kanthi muter pangilon M2 menyang posisi bayangan cocog, kanggo entuk output beam, supaya reflektivitas sampel bisa dites ing sawetara sudhut.
Minangka conto, struktur piranti sing digunakake kanggo nguji reflektivitas piring optik ditampilake ing ngisor iki:
Ing tokoh ndhuwur, sampel dites diselehake ing x / y tabel imbuhan terjemahan, lan reflectivity saka sampel bisa dites ing sembarang posisi liwat kontrol komputer saka Tabel imbuhan.Liwat tes pemindaian, peta distribusi pantulan saka kabeh kaca warata uga bisa dipikolehi.
Kontak:
Email:jasmine@pliroptics.com ;
Telpon / Whatsapp / Wechat: 86 19013265659
situs web: www.pliroptics.com
Tambah:Bangunan 1, No.1558, dalan intelijen, qingbaijiang, chengdu, sichuan, china
Wektu kirim: Apr-23-2024
