Filmparameter Testen - Iwwerdroung a Reflexivitéit

Zousätzlech zu den uewe genannten opteschen Eegeschaften, mussen d'mechanesch a chemesch Eegeschafte vun der optescher Filmschicht och berücksichtegt ginn, och d'Verschleißbeständegkeet, d'Stäerkt, d'Léisbarkeet vun der Filmschicht.Zousätzlech muss d'Qualitéit vun der optescher Uewerfläch no der Beschichtung och berücksichtegt ginn, och d'Ufuerderunge fir Pitting, Kratzer, Dreck, Flecken, etc.
2 Prinzip vun Spektrofotometer

An dësem Pabeier konzentréiere mir eis op d'optesch Eegeschafte vun de Filmtestmethoden fir an der Praxis den Haaptspektrofotometer (Spektrofotometer) an Ellipsometer (Ellipsometer) aféieren fir de Filmparameter ze testen, Spektrofotometer kann d'Transmittanz, d'Reflexivitéit an d'Absorptiounseigenschaften vun opteschen Tester testen. Produiten.Den Ellipsometer kann d'Dicke an d'Polariséierungseigenschaften vun der Filmschicht moossen, an de Prinzip vun deenen zwee ass ähnlech.
D'Struktur vun esou engem Apparat kann opgedeelt ginn an zwee Deeler vum Strahlgeneratiounskanal an dem Strahlempfangkanal, wann d'Iwwerdroung vun der Komponent muss getest ginn, gëtt de Komponent an der Mëtt vun den zwee Kanäl plazéiert, sou datt de Strahl passéiert duerch d'Probe, wann d'Reflexivitéit vum Komponent muss getest ginn, gëtt de Komponent op der selwechter Säit vun den zwee Kanäl gesat, sou datt de Strahl vun der Probe reflektéiert gëtt.Als Beispill ass de Prinzip vun engem Spektrofotometer fir d'Transmittanz vun enger Probe ze moossen an der folgender Figur:

An der Figur hei uewen ass de lénksen Enn de Strahlgeneratiounskanal, benotzt eng breet Spektrum Liichtquell fir Liicht ze emittéieren, an dann duerch d'Spaltung vum Gitter an d'Auswiel vum Schlitz, eng spezifesch Wellelängt vum Liicht erausginn, passéiert de Strahl duerch der collimator 1, gëtt e collimated hëlze, an dann duerch d'polarizer, datt de Wénkel rotéieren kann, gëtt e polariséiert Liicht, an d'polariséiert Liichtjoer ënnerdeelt an 2 Trägere vun der spectroscope no der collimator 2 gesammelt ass.E Liichtstrahl gëtt an de Referenzdetektor reflektéiert, wou de gesammelten Liichtstrahl als Referenz benotzt gëtt fir den Energiedrift wéinst de Schwankungen vun der Liichtquell ze korrigéieren, an en anere Liichtstrahl passéiert duerch d'Probe, gëtt vum Kollimator 3 a Kollimator nei geformt. 4, a gitt an den Detektor um wäit riets Enn vum Test.Am aktuellen Test ginn zwee Energiewäerter kritt andeems Dir déi getest Probe eragitt an eraushuelt, an d'Transmittanz vun der Probe kann kritt ginn andeems d'Energie vergläicht.
De Prinzip vum Ellipsometer ass ähnlech wéi de Prinzip vum uewe genannte Spektrofotometer, ausser datt eng rotéierend 1/4 Wellenplack als Kompensatiounselement am Strahlsendkanal an dem Empfangskanal bäigefüügt gëtt, an e Polarisator gëtt och am Empfangskanal bäigefüügt. , sou datt d'Polariséierungseigenschaften vun der Probe méi flexibel analyséiert kënne ginn.A verschiddene Fäll benotzt den Ellipsometer och direkt eng breet Spektrum Liichtquell, an adoptéiert e Schlitz- a Splitterspektrometer um Empfangsend, kombinéiert mat engem linear Array-Detektor, fir de Leeschtungstest vun der Komponent z'erreechen.
3. Test vun Transmissioun

Am Iwwerdroungstest, fir d'Reflexioun vum Detektor, deen de Liichtstrahl kritt, ze vermeiden, gëtt d'Integratiounskugel dacks als Empfänger benotzt, de Prinzip gëtt wéi follegt gewisen:

Wéi aus der uewe genannter Figur gesi ka ginn, ass d'Integratiounskugel eng Kavitéitskugel, déi mat wäissem diffusen Reflexiounsbeschichtungsmaterial op der bannenzeger Mauer beschichtet ass, an et gëtt e Fënsterloch op der Kugelmauer, déi als Liichtloch vum Incident Liicht benotzt gëtt. an d'Empfangsloch vum Liichtdetektor.Op dës Manéier gëtt d'Liicht, déi an d'Integratiounskugel erakënnt, e puer Mol duerch d'Bannenwandbeschichtung reflektéiert, déi eng eenheetlech Beliichtung op der banneschten Mauer bilden, a gëtt vum Detektor opgeholl.
Als Beispill gëtt d'Struktur vun engem Apparat benotzt fir d'Transmissioun vun enger optescher Plack ze testen hei ënnendrënner

An der Figur uewendriwwer gëtt déi getest Probe op eng Upassungstabell gesat, déi an den x- an y-Richtungen verréckelt ka ginn.D'Iwwerdroung vun der Probe kann op all Positioun duerch Computerkontrolle vum Upassungstabell getest ginn.D'Transmittanzverdeelung vum ganze flaach Glas kann och duerch Scannentest kritt ginn, an d'Resolutioun vum Test hänkt vun der Fleckgréisst vum Strahl of.
4. Reflexiounstest

Fir d'Messung vun der optescher Filmreflektivitéit ginn et normalerweis zwee Weeër, eng ass relativ Messung an déi aner ass absolut Messung.D'relativ Miessmethod erfuerdert e Reflektor mat bekannter Reflexioun fir als Referenz fir Vergläichstester benotzt ze ginn.An der Praxis muss d'Reflexioun vum Referenzspigel regelméisseg mat der Alterung oder der Kontaminatioun vun der Filmschicht kalibréiert ginn.Dofir huet dës Method potenziell Miessfehler.D'Method vun der absoluter Reflexivitéitmiessung erfuerdert d'Kalibrierung vun der Reflexivitéit vum Testapparat ouni d'Probe ze placéieren.An der Figur hei drënner ass d'Struktur vum klassesche VW-Apparat gegeben fir déi absolut Messung vun der Reflexivitéit vun der Probe z'erreechen:

Déi lénks Figur an der uewendriwwer Figur weist eng V-förmlech Struktur aus dräi Spigelen, M1, M2 an M3.Als éischt gëtt de Liichtintensitéitwäert an dësem Modus getest an als P1 opgeholl.Dann, an der richteger Figur, gëtt d'Probe ënner Test gesat, an de M2 ​​Spigel gëtt op déi iewescht Positioun rotéiert fir eng W-förmlech Struktur ze bilden.Déi absolut Reflexivitéit vum gemoossene Probe ka kritt ginn.Dësen Apparat kann och verbessert ginn, zum Beispill, d'Probe ënner Test ass och mat engem onofhängege rotativen Dësch equipéiert, sou datt d'Probe ënner Test kann zu all Wénkel rotéiert ginn, andeems de M2 ​​Spigel op déi entspriechend Reflexiounspositioun rotéiert, fir de Strahlausgang, sou datt d'Reflexivitéit vun der Probe a verschiddene Winkele getest ka ginn.
Als Beispill gëtt d'Struktur vun engem Apparat benotzt fir d'Reflexivitéit vun enger optescher Plack ze testen hei ënnendrënner:

An der Figur uewendriwwer gëtt d'getest Probe op der x / y Iwwersetzungsjustéierungstabell gesat, an d'Reflexivitéit vun der Probe kann op all Positioun duerch d'Computerkontrolle vum Upassungstabell getest ginn.Duerch den Scantest kann och d'Reflexiounsverdeelungskaart vum ganze flaache Glas kritt ginn.

Kontakt:
Email:jasmine@pliroptics.com ;
Telefon/Whatsapp/Wechat:86 19013265659
Websäit: www.pliroptics.com

Add: Building 1, No.1558, Intelligence Road, Qingbaijiang, Chengdu, Sichuan, China