1 Капталгандан кийин иштөө параметрлери
Мурунку макалада биз оптикалык жука пленкалардын функцияларын, принциптерин, программалык камсыздоосун жана жалпы каптоо ыкмаларын тааныштырдык.Бул макалада биз каптоодон кийинки параметрлерди сыноону киргизебиз.Компоненттин бетинин капталгандан кийин иштөө параметрлерине Өткөрүү (өткөрүү), Чагылтуу (R), Абсорбция (A) ж.б. кирет. Мындан тышкары, жутуучулук (өткөрүү) ж.б.у.с.Пленка бетинин чачырандылык мүнөздөмөсү S (Scatter) да сыналышы жана талдануусу керек.
Өткөргүчтүк T – пленка аркылуу өткөн жарыктын интенсивдүүлүгүнүн энергиясынын түшкөн жарык энергиясына катышы.Чагылтуу R – каптоо бетинде чагылдырылган интенсивдүү энергиянын түшкөн энергияга катышы.Абсорбция А – пленка катмары сиңирген жарык энергиясынын түшкөн жарык энергиясына катышы.Бул үч параметр үчүн төмөнкү байланыштар бар:
T + R + A = 1
Башкача айтканда, пленка катмарынын өткөргүчтүгү, чагылуусу жана жутулушунун суммасы туруктуу 1. Бул жарык шооласы мембранадан өткөндөн кийин анын бир бөлүгү өтүп, бир бөлүгү чагылышып, калганы мембрана тарабынан сиңилет.
Үстүндөоптикалык компонентчиймелер, адатта, пленка бетинин өткөрүмдүүлүк же чагылдыруу жөндөмдүүлүгү талап кылынат, ал эми колдонуу абалындагы спектрдик диапазону жана түшүү бурчтары так аныкталышы керек.Эгерде поляризация дагы талап кылынса, поляризация мамлекеттеринин диапазону так аныкталышы керек.Мисал катары, төмөндөгү сүрөттөгү каптоо талаптары: 770нмде чагылтуучулук 45 градустук чыңалууда 88% дан кем эмес болушу керек, ал эми 550нмде өткөрүмдүүлүк 45 градустук инцидентте 70% дан кем эмес болушу керек.
Жогорудагы оптикалык касиеттерден тышкары, оптикалык пленка катмарынын механикалык жана химиялык касиеттерин да эске алуу керек, анын ичинде пленка катмарынын эскирүүгө туруктуулугу, бекемдиги, эригичтиги.Мындан тышкары, капталгандан кийин оптикалык бетинин сапаты да каралышы керек, анын ичинде оюк, чийик, кир, тактар ж.б.
2 Спектрофотометрдин принциби
Бул макалада биз пленканы сыноо ыкмаларынын оптикалык касиеттерине көңүл бурабыз, иш жүзүндө негизги Спектрофотометрди (Спектрофотометр) жана Эллипсометрди (Эллипсометр) пленканын параметрлерин текшерүү үчүн, спектрофотометр оптиканын өткөрүмдүүлүк, чагылдыруу жана жутуу мүнөздөмөлөрүн текшере алат. буюмдар.Эллипсометр пленка катмарынын калыңдыгын жана поляризациялык мүнөздөмөлөрүн өлчөй алат жана экөөнүн тең принциби окшош.
Мындай түзүлүштүн структурасын эки бөлүккө бөлүүгө болот нурлануу каналы жана нурду кабыл алуучу канал, компоненттин өткөрүмдүүлүгүн текшерүү керек болгондо, компонент эки каналдын ортосуна жайгаштырылат, ошондуктан нур үлгү аркылуу өтөт, компоненттин чагылтуулугун текшерүү керек болгондо, компонент эки каналдын бир тарабына жайгаштырылат, ошентип нур үлгү аркылуу чагылдырылат.Мисал катары, үлгүнүн өткөрүмдүүлүгүн өлчөө үчүн спектрофотометрдин принциби төмөнкү сүрөттө көрсөтүлгөн:
Жогорудагы сүрөттө, сол аягы жарык чыгаруу үчүн кең спектрдеги жарык булагын колдонуп, нурларды генерациялоо каналы болуп саналат, андан кийин торду бөлүү жана жарыкты тандоо аркылуу жарыктын белгилүү бир толкун узундугун чыгарат, нур аркылуу өтөт. коллиматор 1, коллимацияланган нурга айланат, андан кийин Бурчту айландыра ала турган поляризатордон өтүп, поляризацияланган жарыкка айланат жана поляризацияланган жарык коллиматор 2 чогултулгандан кийин спектроскоп аркылуу 2 нурга бөлүнөт.Жарык шооласы эталондук детектордо чагылдырылат, мында чогулган жарык шооласы жарык булагынын термелүүсүнөн улам энергиянын дрейфин оңдоо үчүн шилтеме катары колдонулат, ал эми башка жарык шооласы үлгү аркылуу өтүп, коллиматор 3 жана коллиматор аркылуу кайра формага келтирилет. 4, жана тесттин эң оң жагындагы детекторго кирет.Чыныгы сыноодо сыналган үлгүнү салуу жана чыгаруу жолу менен эки энергия мааниси алынат, ал эми үлгүнүн өткөрүмдүүлүгү энергияны салыштыруу аркылуу алынышы мүмкүн.
Эллипсометрдин принциби жогорудагы спектрофотометрдин принцибине окшош, мунун айырмасы нурду жөнөтүүчү жана кабыл алуучу каналда компенсациялоочу элемент катары айлануучу 1/4 толкун пластинкасы кошулат, ал эми кабыл алуучу каналга да поляризатор кошулат. , үлгүнүн поляризациялык мүнөздөмөлөрү ийкемдүүраак талданышы үчүн.Кээ бир учурларда, эллипсометр ошондой эле кең спектрдеги жарык булагын түздөн-түз колдонот жана компоненттин иштөө сынагына жетүү үчүн сызыктуу массив детектору менен бирге кабыл алуучу учунда тешик жана бөлүүчү спектрометрди кабыл алат.
3. Өткөргүчтүктү текшерүү
Өткөргүчтүк сыноодо жарыктын шооласын кабыл алган детектордун чагылышын болтурбоо үчүн интегралдык сфера көбүнчө кабыл алгыч катары колдонулат, принцип төмөнкүчө чагылдырылган:
Жогорудагы сүрөттөн көрүнүп тургандай, интегралдык сфера ички дубалга ак чачыранды чагылдыруучу каптоочу материал менен капталган көңдөй шар болуп саналат, ал эми шар дубалында терезе тешиги бар, ал түшкөн жарыктын жарык тешиги катары колдонулат. жана жарык детекторунун кабыл алуу тешиги.Ошентип, интегралдык сферага кирген жарык ички дубалдын каптоосу аркылуу бир нече жолу чагылып, ички дубалда бирдей жарыктандырууну пайда кылат жана детектор тарабынан кабыл алынат.
Мисал катары, оптикалык пластинанын өткөрүмдүүлүгүн текшерүү үчүн колдонулган түзүлүштүн түзүлүшү төмөндө көрсөтүлгөн
Жогорудагы сүрөттө, сыналган үлгү х жана у багыттары боюнча жылдырыла турган жөндөө үстөлүнө коюлган.Үлгүнүн өткөргүчтүгү тууралоо столунун компьютердик башкаруусу аркылуу каалаган позицияда текшерилиши мүмкүн.Бүтүндөй жалпак айнектин өткөрүмдүүлүктүн бөлүштүрүлүшүн сканерлөө тести аркылуу да алууга болот жана сыноонун чечкиндүүлүгү нурдун так өлчөмүнө жараша болот.
4. Рефлексия тести
Оптикалык пленканын чагылдыруусун өлчөө үчүн, адатта, эки жол бар, бири салыштырмалуу өлчөө, экинчиси абсолюттук өлчөө.Салыштырмалуу өлчөө ыкмасы салыштыруу тести үчүн маалымдама катары колдонулуучу белгилүү чагылуусу бар рефлекторду талап кылат.Практикада эталондук күзгүнүн чагылышын пленка катмарынын эскириши же булганышы менен үзгүлтүксүз калибрлөө керек.Ошондуктан, бул ыкма потенциалдуу өлчөө каталары бар.Абсолюттук чагылтуучулукту өлчөө ыкмасы үлгүнү жайгаштырбастан, сыноочу түзүлүштүн чагылтуулугун калибрлөөнү талап кылат.Төмөндөгү сүрөттө, үлгүнүн чагылдыруу абсолюттук өлчөөсүнө жетишүү үчүн классикалык VW түзүлүшүнүн түзүмү берилген:
Жогорудагы сүрөттөгү сол сүрөттө үч күзгүдөн турган V түрүндөгү түзүлүш M1, M2 жана M3 көрсөтүлгөн.Биринчиден, бул режимде жарыктын интенсивдүүлүгүнүн мааниси текшерилет жана P1 катары жазылат.Андан кийин, оң сүрөттө, текшерилип жаткан үлгү салынып, M2 күзгүсү W түрүндөгү түзүлүштү түзүү үчүн жогорку абалга айландырылат.Өлчөнгөн үлгүнүн абсолюттук чагылышын алууга болот.Бул аппаратты дагы жакшыртса болот, мисалы, сыналып жаткан үлгү көз карандысыз айлануучу үстөл менен жабдылган, ошондуктан сыналып жаткан үлгү каалаган бурчка бурулушу мүмкүн, M2 күзгүсүн тиешелүү чагылдыруу абалына айлантып, үлгүнүн чагылдыруу жөндөмдүүлүгүн бир нече бурчта текшерүүгө болот.
Мисал катары, оптикалык пластинканын чагылдыруу жөндөмдүүлүгүн текшерүү үчүн колдонулган түзүлүштүн түзүлүшү төмөндө көрсөтүлгөн:
Жогорудагы сүрөттө, сыналган үлгү x/y котормонун жөндөө столуна жайгаштырылат жана үлгүнүн чагылуусу тууралоо таблицасын компьютердик башкаруу аркылуу каалаган позицияда текшерилиши мүмкүн.Скандоочу тест аркылуу бүт жалпак айнектин чагылтуу бөлүштүрүү картасын да алууга болот.
Байланыш:
Email:jasmine@pliroptics.com ;
Телефон/Whatsapp/Wechat:86 19013265659
веб: www.pliroptics.com
Кошуу: 1-Building, №1558, чалгындоо жолу, Цинбайцзян, Чэнду, Сычуань, Кытай
Посттун убактысы: 23-апрель-2024
