ការធ្វើតេស្តប៉ារ៉ាម៉ែត្រខ្សែភាពយន្ត - ការបញ្ជូននិងការឆ្លុះបញ្ចាំង

បន្ថែមពីលើលក្ខណៈសម្បត្តិអុបទិកខាងលើ លក្ខណៈសម្បត្តិមេកានិក និងគីមីនៃស្រទាប់ហ្វីលអុបទិកក៏ត្រូវយកមកពិចារណាផងដែរ រួមទាំងភាពធន់នឹងការពាក់ ភាពរឹងមាំ ភាពរលាយនៃស្រទាប់ខ្សែភាពយន្ត។លើសពីនេះទៀតគុណភាពនៃផ្ទៃអុបទិកបន្ទាប់ពីថ្នាំកូតក៏ត្រូវយកមកពិចារណាផងដែរ រួមទាំងតម្រូវការសម្រាប់ការដាក់រណ្តៅ ការកោស ភាពកខ្វក់ ស្នាមប្រឡាក់ជាដើម។
2 គោលការណ៍នៃ spectrophotometer

នៅក្នុងក្រដាសនេះ យើងផ្តោតលើលក្ខណៈសម្បត្តិអុបទិកនៃវិធីសាស្រ្តធ្វើតេស្តខ្សែភាពយន្ត ដើម្បីណែនាំនៅក្នុងការអនុវត្តជាក់ស្តែង ឧបករណ៍វាស់ស្ទង់ Spectrophotometer (Spectrophotometer) និង Ellipsometer (Ellipsometer) ដើម្បីសាកល្បងប៉ារ៉ាម៉ែត្រខ្សែភាពយន្ត spectrophotometer អាចសាកល្បងការបញ្ជូន ការឆ្លុះបញ្ចាំង និងការស្រូបយកលក្ខណៈនៃអុបទិក។ ផលិតផល។ellipsometer អាចវាស់កម្រាស់ និងលក្ខណៈប៉ូលនៃស្រទាប់ខ្សែភាពយន្ត ហើយគោលការណ៍ទាំងពីរគឺស្រដៀងគ្នា។
រចនាសម្ព័នរបស់ឧបករណ៍បែបនេះអាចបែងចែកជាពីរផ្នែកនៃឆានែលបង្កើតធ្នឹម និងឆានែលទទួលធ្នឹម នៅពេលដែលការបញ្ជូនធាតុត្រូវធ្វើតេស្ត សមាសធាតុត្រូវបានដាក់នៅចំកណ្តាលនៃបណ្តាញទាំងពីរ ដូច្នេះធ្នឹម ឆ្លងកាត់គំរូនៅពេលដែលការឆ្លុះបញ្ចាំងនៃសមាសភាគត្រូវតែត្រូវបានសាកល្បងសមាសភាគត្រូវបានដាក់នៅលើផ្នែកដូចគ្នានៃឆានែលទាំងពីរដូច្នេះថាធ្នឹមត្រូវបានឆ្លុះបញ្ចាំងដោយគំរូ។ជាឧទាហរណ៍គោលការណ៍នៃ spectrophotometer ដើម្បីវាស់ស្ទង់ការបញ្ជូននៃសំណាកត្រូវបានបង្ហាញក្នុងរូបខាងក្រោម៖

នៅក្នុងរូបភាពខាងលើ ចុងខាងឆ្វេងគឺជាឆានែលបង្កើតធ្នឹម ដោយប្រើប្រភពពន្លឺវិសាលគមធំទូលាយដើម្បីបញ្ចេញពន្លឺ ហើយបន្ទាប់មកតាមរយៈការបំបែកនៃក្រឡាចត្រង្គ និងការជ្រើសរើសរន្ធ បញ្ចេញពន្លឺរលកពន្លឺជាក់លាក់មួយ ធ្នឹមឆ្លងកាត់។ collimator 1 ក្លាយជាធ្នឹម collimated ហើយបន្ទាប់មកឆ្លងកាត់បន្ទាត់រាងប៉ូល។ធ្នឹមពន្លឺត្រូវបានឆ្លុះបញ្ចាំងទៅក្នុងឧបករណ៍ចាប់សញ្ញា ដែលធ្នឹមពន្លឺដែលប្រមូលបានត្រូវបានប្រើជាឯកសារយោងដើម្បីកែតម្រូវការរសាត់ថាមពលដោយសារការប្រែប្រួលនៃប្រភពពន្លឺ ហើយធ្នឹមពន្លឺមួយទៀតឆ្លងកាត់គំរូត្រូវបានផ្លាស់ប្តូរដោយ collimator 3 និង collimator 4, ហើយចូលទៅក្នុងឧបករណ៍ចាប់សញ្ញានៅចុងខាងស្តាំនៃការធ្វើតេស្ត។នៅក្នុងការធ្វើតេស្តជាក់ស្តែង តម្លៃថាមពលពីរត្រូវបានទទួលដោយការបញ្ចូល និងយកគំរូដែលបានសាកល្បង ហើយការបញ្ជូនគំរូអាចទទួលបានដោយការប្រៀបធៀបថាមពល។
គោលការណ៍នៃ ellipsometer គឺស្រដៀងគ្នាទៅនឹងគោលការណ៍នៃ spectrophotometer ខាងលើ លើកលែងតែចានរលក 1/4 បង្វិលត្រូវបានបន្ថែមជាធាតុសំណងនៅក្នុងឆានែលបញ្ជូនធ្នឹម និងឆានែលទទួល ហើយប៉ូល័រក៏ត្រូវបានបន្ថែមនៅក្នុងឆានែលទទួលផងដែរ។ ដូច្នេះ​លក្ខណៈ​រាងប៉ូល​នៃ​គំរូ​អាច​ត្រូវ​បាន​វិភាគ​កាន់តែ​បត់បែន។ក្នុងករណីខ្លះ ellipsometer ក៏នឹងប្រើដោយផ្ទាល់នូវប្រភពពន្លឺវិសាលគមធំទូលាយ ហើយទទួលយកឧបករណ៍វាស់ស្ទង់រន្ធ និងឧបករណ៍បំបែកនៅចុងទទួល រួមផ្សំជាមួយនឹងឧបករណ៍ចាប់អារេលីនេអ៊ែរ ដើម្បីសម្រេចបាននូវការធ្វើតេស្តដំណើរការនៃសមាសភាគ។
3. ការធ្វើតេស្តនៃការបញ្ជូន

នៅក្នុងការធ្វើតេស្តបញ្ជូន ដើម្បីជៀសវាងការឆ្លុះបញ្ចាំងពីឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាដែលទទួលពន្លឺ លំហរួមបញ្ចូលគ្នាត្រូវបានគេប្រើជាញឹកញាប់ជាអ្នកទទួល គោលការណ៍ត្រូវបានបង្ហាញដូចខាងក្រោមៈ

ដូចដែលអាចមើលឃើញពីរូបភាពខាងលើ ស្វ៊ែររួមបញ្ចូលគ្នាគឺជាប្រហោងប្រហោងដែលស្រោបដោយសម្ភារៈថ្នាំកូតឆ្លុះបញ្ចាំងពណ៌សនៅលើជញ្ជាំងខាងក្នុង ហើយមានរន្ធបង្អួចនៅលើជញ្ជាំងបាល់ ដែលត្រូវបានប្រើជារន្ធពន្លឺនៃឧបទ្ទវហេតុ។ និងរន្ធទទួលឧបករណ៍ចាប់ពន្លឺ។នៅក្នុងវិធីនេះ ពន្លឺដែលចូលទៅក្នុងលំហរួមបញ្ចូលគ្នាត្រូវបានឆ្លុះបញ្ចាំងជាច្រើនដងតាមរយៈថ្នាំកូតជញ្ជាំងខាងក្នុង បង្កើតជាពន្លឺឯកសណ្ឋាននៅលើជញ្ជាំងខាងក្នុង ហើយត្រូវបានទទួលដោយឧបករណ៍រាវរក។
ជាឧទាហរណ៍ រចនាសម្ព័ន្ធរបស់ឧបករណ៍ដែលប្រើដើម្បីសាកល្បងការបញ្ជូននៃបន្ទះអុបទិកត្រូវបានបង្ហាញខាងក្រោម

នៅក្នុងរូបភាពខាងលើ គំរូដែលបានសាកល្បងត្រូវបានដាក់នៅលើតារាងកែតម្រូវដែលអាចផ្លាស់ប្តូរបានក្នុងទិសដៅ x និង y ។ការបញ្ជូនគំរូអាចត្រូវបានសាកល្បងនៅទីតាំងណាមួយដោយការគ្រប់គ្រងកុំព្យូទ័រនៃតារាងកែតម្រូវ។ការចែកចាយការបញ្ជូននៃកញ្ចក់រាបស្មើទាំងមូលក៏អាចទទួលបានដោយការធ្វើតេស្តស្កែនដែរ ហើយគុណភាពនៃការធ្វើតេស្តគឺអាស្រ័យលើទំហំកន្លែងរបស់ធ្នឹម។
4. ការធ្វើតេស្តឆ្លុះបញ្ចាំង

សម្រាប់ការវាស់ស្ទង់ភាពឆ្លុះនៃខ្សែភាពយន្តអុបទិក ជាធម្មតាមានវិធីពីរយ៉ាង ដែលមួយគឺការវាស់វែងទាក់ទង និងមួយទៀតគឺការវាស់វែងដាច់ខាត។វិធីសាស្ត្រវាស់វែងដែលទាក់ទង ទាមទារឧបករណ៍ឆ្លុះបញ្ចាំងជាមួយនឹងការឆ្លុះបញ្ចាំងដែលគេស្គាល់ ដើម្បីប្រើជាឯកសារយោងសម្រាប់ការធ្វើតេស្តប្រៀបធៀប។នៅក្នុងការអនុវត្តជាក់ស្តែង ការឆ្លុះបញ្ចាំងនៃកញ្ចក់យោងត្រូវធ្វើការក្រិតតាមខ្នាតជាទៀងទាត់ជាមួយនឹងភាពចាស់ ឬភាពកខ្វក់នៃស្រទាប់ខ្សែភាពយន្ត។ដូច្នេះវិធីសាស្រ្តនេះមានកំហុសក្នុងការវាស់វែងសក្តានុពល។វិធីសាស្រ្តនៃការវាស់វែងការឆ្លុះបញ្ចាំងដាច់ខាតតម្រូវឱ្យមានការក្រិតតាមខ្នាតនៃការឆ្លុះបញ្ចាំងនៃឧបករណ៍សាកល្បងដោយមិនដាក់គំរូ។នៅក្នុងរូបភាពខាងក្រោម រចនាសម្ព័ន្ធនៃឧបករណ៍ VW បុរាណត្រូវបានផ្តល់ឱ្យដើម្បីសម្រេចបាននូវការវាស់វែងដាច់ខាតនៃការឆ្លុះបញ្ចាំងនៃគំរូ:

រូបខាងឆ្វេងក្នុងរូបខាងលើបង្ហាញពីរចនាសម្ព័ន្ធរាងអក្សរ V ដែលមានកញ្ចក់បីគឺ M1, M2 និង M3 ។ដំបូង តម្លៃអាំងតង់ស៊ីតេពន្លឺនៅក្នុងរបៀបនេះត្រូវបានសាកល្បង និងកត់ត្រាជា P1។បន្ទាប់មកតាមរូបត្រឹមត្រូវ គំរូដែលកំពុងធ្វើតេស្តត្រូវបានដាក់ចូល ហើយកញ្ចក់ M2 ត្រូវបានបង្វិលទៅទីតាំងខាងលើដើម្បីបង្កើតជារចនាសម្ព័ន្ធរាងអក្សរ W ។ការឆ្លុះបញ្ចាំងដាច់ខាតនៃគំរូដែលបានវាស់វែងអាចទទួលបាន។ឧបករណ៍នេះក៏អាចត្រូវបានកែលម្អផងដែរ ឧទាហរណ៍ គំរូដែលកំពុងធ្វើតេស្តក៏ត្រូវបានបំពាក់ដោយតារាងបង្វិលឯករាជ្យផងដែរ ដូច្នេះគំរូដែលកំពុងធ្វើតេស្តអាចបង្វិលទៅមុំណាមួយ ដោយបង្វិលកញ្ចក់ M2 ទៅទីតាំងឆ្លុះបញ្ចាំងដែលត្រូវគ្នា ដើម្បីសម្រេចបាន ទិន្នផលធ្នឹម ដូច្នេះការឆ្លុះបញ្ចាំងនៃគំរូអាចត្រូវបានសាកល្បងនៅមុំច្រើន។
ជាឧទាហរណ៍ រចនាសម្ព័ន្ធរបស់ឧបករណ៍ដែលប្រើដើម្បីសាកល្បងការឆ្លុះបញ្ចាំងនៃបន្ទះអុបទិកត្រូវបានបង្ហាញខាងក្រោម៖

នៅក្នុងរូបភាពខាងលើ គំរូដែលបានសាកល្បងត្រូវបានដាក់នៅលើតារាងកែតម្រូវការបកប្រែ x/y ហើយការឆ្លុះបញ្ចាំងនៃគំរូអាចត្រូវបានសាកល្បងនៅទីតាំងណាមួយតាមរយៈការគ្រប់គ្រងកុំព្យូទ័រនៃតារាងកែតម្រូវ។តាមរយៈការធ្វើតេស្តស្កែន ផែនទីចែកចាយការឆ្លុះបញ្ចាំងនៃកញ្ចក់រាបស្មើទាំងមូលក៏អាចទទួលបានផងដែរ។

ទំនាក់ទំនង៖
Email:jasmine@pliroptics.com ;
ទូរស័ព្ទ/Whatsapp/Wechat: 86 19013265659
គេហទំព័រ៖ www.pliroptics.com

បន្ថែម៖ អាគារ 1, No.1558, ផ្លូវស៊ើបការណ៍, ឈីងបៃជាំង, ឆេងទូ, ស៊ីឈួន, ប្រទេសចិន